[發明專利]一種測量束流的法拉第裝置

有效

• 申請號: 201310303660.2
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN103792566A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 龐云玲
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種束流的法拉第測量裝置，包括：密封插座(1)、法拉第杯安裝板(2)、法拉第收集框(3)、石墨擋板(4)、導磁板(5)、微型法拉第杯(6)，其特征在于：

所述微型法拉第杯(6)安裝于法拉第杯安裝板(2)上，所述法拉第杯安裝板(2)通過所述法拉第收集框(3)的連接固定于離子注入機上，所述微型法拉第杯(6)位于法拉第收集框(3)內部，所述石墨擋板(4)安裝于所述法拉第收集框(3)上，位于微型法拉第杯(6)入口前方位置。

2.權利要求1所述的一種束流的法拉第測量裝置，其特征在于：多個所述微型法拉第杯(6)(不少于10)與所述導磁板(5)并列安裝于法拉第杯安裝板(2)上，并通過絕緣墊與法拉第杯安裝板(2)絕緣；所述微型法拉第杯(6)側壁上設置抑制磁鐵和磁鐵安裝板，與所述導磁板(5)一起在法拉第杯口處形成磁路，增加測量數據的準確性；所述微型法拉第杯(6)分布密集，杯體底部設置石墨底板。

3.權利要求1所述的一種束流的測量裝置，其特征在于：所述法拉第杯安裝板(2)及其上安裝的所述微型法拉第杯(6)與所述導磁板(5)一起固定于所述法拉第收集框(3)上，所述石墨擋板(4)安裝于所述法拉第收集框(3)上，位于所述微型法拉第杯(6)入口前方位置，保持不接觸。

4.權利要求2和3中所述的一種束流的法拉第測量裝置，其特征在于：所有組成部分均安裝于所述法拉第收集框(3)內，置于真空環境中，便于系統真空環境的維護。

5.權利要求2和3中所述的一種束流的法拉第測量裝置，其特征在于：所述微型法拉第杯(6)的引線，設于安裝底座的固定處，統一由所述密封插座(1)引出。

6.前述權利要求中所述的一種束流的法拉第測量裝置，其特征在于：所述法拉第杯安裝板(2)和所述法拉第收集框(3)結構上同時設有冷卻水路，能達到良好的冷卻效果。此冷卻水路的形式是可替代的，如采用風冷或不使用管道等。

7.前述權利要求中任一項的束流的測量裝置應用于離子或注入系統。