[發(fā)明專(zhuān)利]真空干燥腔室排氣系統(tǒng)及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310300807.2
• 申請(qǐng)日: 2013-07-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104296520A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃昱嘉;楊靖哲;黃正義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F26B25/00
• 分類(lèi)號(hào): F26B25/00
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 張然;李昕巍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空干燥腔室的排氣系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)

圖1所示為一種現(xiàn)有的真空干燥腔室的示意圖，參考圖1，腔室12由上腔體13以及下腔體14組成。一般現(xiàn)有的真空干燥腔室內(nèi)部設(shè)置有排氣口，可以將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出。但是，在腔室12取放基板9的過(guò)程中，依然會(huì)有部分高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體溢出到真空腔室12的空氣中。如此，就會(huì)對(duì)腔室周?chē)沫h(huán)境產(chǎn)生危害。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有的真空干燥腔室在腔室取放基板的過(guò)程中，部分高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體溢出到真空腔室外的空氣中，進(jìn)而會(huì)對(duì)腔室周?chē)沫h(huán)境產(chǎn)生危害的問(wèn)題。

本發(fā)明一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，包括：多個(gè)排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外；排氣泵，通過(guò)排氣管連接該多個(gè)排氣口。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)還包括：PLC，用于控制該排氣泵開(kāi)關(guān)。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個(gè)排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的外側(cè)設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個(gè)該排氣口設(shè)置在排氣腔上，該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該排氣管與該排氣泵之間設(shè)置有閥門(mén)。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門(mén)為電控閥門(mén)；一PLC，用于控制該電控閥門(mén)的開(kāi)關(guān)。

本發(fā)明還提供了一種真空干燥腔室排氣的方法，其中，本方法通過(guò)上述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，該方法包括：在將待干燥基板放入該真空干燥腔室時(shí)，通過(guò)該排氣泵進(jìn)行排氣。

本發(fā)明還提供了一種真空干燥腔室排氣的方法，其中，在真空干燥腔室關(guān)閉后，停止通過(guò)該排氣泵進(jìn)行排氣；在將干燥后的基板自該真空干燥腔室取出時(shí)，通過(guò)該排氣泵進(jìn)行排氣。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，通過(guò)PLC控制該排氣泵開(kāi)關(guān)，以控制該排氣泵開(kāi)始或停止排氣。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個(gè)排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的下腔體外側(cè)設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，，將該多個(gè)該排氣口設(shè)置在該排氣腔上，將該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將閥門(mén)設(shè)置在該排氣管與該排氣泵之間，開(kāi)啟該閥門(mén)，則開(kāi)始通過(guò)該排氣泵進(jìn)行排氣；關(guān)閉該閥門(mén)，則停止通過(guò)該排氣泵進(jìn)行排氣。

根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的真空干燥腔室排氣的方法，其中，該閥門(mén)選擇為電控閥門(mén)，并通過(guò)PLC控制該電控閥門(mén)的開(kāi)關(guān)。

綜上所述，本發(fā)明是通過(guò)在真空干燥腔室的外部設(shè)置多個(gè)排氣口，使得在腔室取放基板的過(guò)程中，能夠通過(guò)真空干燥腔室的外部的多個(gè)排氣口將腔室內(nèi)高濃度的溶解物的揮發(fā)氣體排出，減少了在此過(guò)程中可能產(chǎn)生的環(huán)境危害。

附圖說(shuō)明

圖1所示為一種現(xiàn)有的真空干燥腔室的示意圖；

圖2所示為本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的示意圖；

圖3為基板放入真空腔室時(shí)的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖；

圖4為真空干燥腔室關(guān)閉后的狀態(tài)圖；

圖5為基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)狀態(tài)圖。

具體實(shí)施方式

圖2所示為本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的示意圖，如圖2所示，本發(fā)明真空干燥腔室排氣系統(tǒng)包括：多個(gè)排氣口5，排氣泵1，排氣泵閥門(mén)8，真空腔室2，排氣腔6以及排氣管7。真空腔室2包括上腔部3以及下腔部4。

參考圖2，本實(shí)施例的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)的連接結(jié)構(gòu)為，排氣腔6圍繞真空腔室2的下腔部3的外側(cè)設(shè)置。排氣腔6上設(shè)置有多個(gè)排氣口5。排氣腔6連接排氣管7，排氣管7與排氣泵1連接。排氣管7上可以設(shè)置閥門(mén)8以控制排氣管7的通斷。

對(duì)于一種較佳的實(shí)施方式，可以通過(guò)一PLC（未圖示）連接排氣泵1以控制排氣泵1的開(kāi)關(guān)。另外，在設(shè)置閥門(mén)8的情況下，可以將閥門(mén)8設(shè)置為電動(dòng)閥門(mén)，并將PLC與電動(dòng)閥門(mén)8連接，如此，亦可通過(guò)PLC來(lái)控制電動(dòng)閥門(mén)8的開(kāi)關(guān)。

由于現(xiàn)有的真空腔室2一般自身配備有PLC，故上述的PLC可以采用真空腔室2自身的PLC編程后對(duì)排氣泵1和/或電動(dòng)閥門(mén)進(jìn)行控制。