[發(fā)明專利]真空干燥腔室排氣系統(tǒng)及方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310300807.2 | 申請(qǐng)日： | 2013-07-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104296520A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃昱嘉;楊靖哲;黃正義 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F26B25/00 | 分類號(hào)： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 隆天國際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 張然;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山區(qū)*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空 干燥 排氣 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其特征在于，包括：
多個(gè)排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外；
排氣泵，通過排氣管連接該多個(gè)排氣口。
2.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)還包括：PLC，用于控制該排氣泵的開啟和關(guān)閉。
3.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個(gè)排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的外側(cè)設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該多個(gè)該排氣口設(shè)置在排氣腔上，該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。
5.如權(quán)利要求1所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該排氣管與該排氣泵之間設(shè)置有閥門。
6.如權(quán)利要求5所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門為電控閥門；還包括：一PLC，用于控制該電控閥門的開關(guān)。
7.一種真空干燥腔室排氣的方法，其特征在于，真空干燥腔室排氣系統(tǒng)包括，多個(gè)排氣口，設(shè)置在真空干燥腔室外，排氣泵通過排氣管連接該多個(gè)排氣口；真空干燥腔室排氣的方法包括：
在將待干燥基板放入該真空干燥腔室時(shí)，通過該排氣泵進(jìn)行排氣。
8.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，
在真空干燥腔室關(guān)閉后，停止通過該排氣泵進(jìn)行排氣；
在將干燥后的基板自該真空干燥腔室取出時(shí)，通過該排氣泵進(jìn)行排氣。
9.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，通過PLC控制該排氣泵的開啟和關(guān)閉。
10.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個(gè)排氣口環(huán)繞該真空干燥腔室的下腔體外側(cè)設(shè)置。
11.如權(quán)利要求10所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將該多個(gè)該排氣口設(shè)置在該排氣腔上，將該排氣腔環(huán)繞該下腔體的外側(cè)設(shè)置，排氣腔連接該排氣管，該排氣管連接該排氣泵。
12.如權(quán)利要求7所述的真空干燥腔室排氣的方法，其中，將閥門設(shè)置在該排氣管與該排氣泵之間，開啟該閥門，則開始通過該排氣泵進(jìn)行排氣；關(guān)閉該閥門，則停止通過該排氣泵進(jìn)行排氣。
13.如權(quán)利要求12所述的真空干燥腔室排氣系統(tǒng)，其中，該閥門選擇為電控閥門，并通過PLC控制該電控閥門的開關(guān)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海和輝光電有限公司，未經(jīng)上海和輝光電有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310300807.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
