[發明專利]圓筒旋轉銀靶及其制備方法

在審

• 申請號: 201310299504.3
• 申請日: 2013-07-17
• 公開（公告）號: CN103397301A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 曾小綿;白振中;王小峰;葉光岱
• 申請（專利權）人: 中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 深圳冠華專利事務所(普通合伙) 44267
• 代理人: 夏聲平

1.一種圓筒旋轉銀靶，其特征在于：包括圓筒不銹鋼襯管及圓筒含銀靶材，該圓筒含銀靶材的內徑與該圓筒不銹鋼襯管外徑之間采用過盈配合組裝。

2.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該圓筒含銀靶材為純銀靶材或銀合金靶材，其中銀合金中銀的含量占總重量的比重為90%～100%。

3.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該圓筒含銀靶材由多節組成，每節長為200mm～300mm，內徑為132.5mm；其中一節與另外一節的連接部的外徑為152～160mm；并且其中一節與另外一節間距小于或等于0.5mm。

4.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該圓筒含銀靶材的外表面均勻光滑，內壁面均勻光滑。

5.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該圓筒含銀靶材具有內螺紋，該內螺紋寬度為1～2mm。

6.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該不銹鋼圓筒襯管的內徑為125mm，外徑為133mm，長度為1480～3855mm，密度為8.0g/cm³。

7.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該不銹鋼圓筒襯管為SUS316不銹鋼，其外表面光滑、無凸起物。

8.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該不銹鋼圓筒襯管具有外螺紋。

9.如權利要求1所述的圓筒旋轉銀靶，其特征在于：該圓筒旋轉銀靶還包括兩個卡箍，該兩個卡箍分別設于該圓筒不銹鋼襯管的兩端。

10.一種圓筒旋轉銀靶的制備方法，其包括以下步驟：

設計澆注模具；

將澆注模具均勻加熱到300℃～500℃，并通入氮氣或氬氣作為保護氣體；

將熔化的含銀材料澆注到該澆注模具中，其中澆注時該熔化的含銀材料的溫度高于其熔點溫度100℃或以上；

冷卻該模具，取出圓筒含銀靶材；及

將該圓筒含銀靶材與圓筒不銹鋼襯管進行裝配，其中該圓筒含銀靶材的內徑與該圓筒不銹鋼襯管外徑之間采用過盈配合組裝。