[發明專利]圓筒旋轉銀靶及其制備方法

在審

• 申請號: 201310299504.3
• 申請日: 2013-07-17
• 公開（公告）號: CN103397301A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 曾小綿;白振中;王小峰;葉光岱
• 申請（專利權）人: 中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 深圳冠華專利事務所(普通合伙) 44267
• 代理人: 夏聲平

技術領域

本發明涉及一種圓筒旋轉銀靶，尤其是涉及一種應用于大面積磁控濺射鍍膜的圓筒旋轉銀靶。

背景技術

隨著國家節能減排政策的執行力度加大以及人們對低碳環保意識的加強，以低輻射玻璃為代表的節能玻璃在門窗、玻璃幕墻中的應用越來越廣泛。低輻射玻璃家族中，節能性能優異的雙銀低輻射玻璃得到大量應用。

目前平面靶存在濺射效率低，換靶頻繁，生產成本高等缺點，而旋轉靶材具有利用率高、使用時間長、濺射過程中產生較少的電弧等優點，因而日益受到人們的關注。

銀層作為低輻射玻璃的主要功能層，在金屬銀靶的使用上，仍然是以平面銀靶為主，且在工業化應用中存在銀靶利用率低等問題。

發明內容

鑒于上述狀況，有必要提供一種可提高利用率的圓筒旋轉銀靶及其制備方法。

一種圓筒旋轉銀靶，包括圓筒不銹鋼襯管及圓筒含銀靶材，該圓筒含銀靶材的內徑與該圓筒不銹鋼襯管外徑之間采用過盈配合組裝。

該圓筒含銀靶材為純銀靶材或銀合金靶材，其中銀合金中銀的含量占總重量的比重為90%～100%。

該圓筒含銀靶材由多節組成，每節長為200mm～300mm，內徑為132.5mm；其中一節與另外一節的連接部的外徑為152～160mm；并且其中一節與另外一節間距小于或等于0.5mm。

該圓筒含銀靶材的外表面均勻光滑，內壁面均勻光滑。

該圓筒含銀靶材具有內螺紋，該內螺紋寬度為1～2mm。

該不銹鋼圓筒襯管的內徑為125mm，外徑為133mm，長度為1480～3855mm，密度為8.0g/cm3。

該不銹鋼圓筒襯管為SUS316不銹鋼，其外表面光滑、無凸起物。

該不銹鋼圓筒襯管具有外螺紋。

該圓筒旋轉銀靶還包括兩個卡箍，該兩個卡箍分別設于該圓筒不銹鋼襯管的兩端。

一種圓筒旋轉銀靶的制備方法，其包括以下步驟：設計澆注模具；將澆注模具均勻加熱到300℃～500℃，并通入氮氣或氬氣作為保護氣體；將熔化的含銀材料澆注到該澆注模具中，其中澆注時該熔化的含銀材料的溫度高于其熔點溫度100℃或以上；冷卻該模具，取出圓筒含銀靶材；及將該圓筒含銀靶材與圓筒不銹鋼襯管進行裝配，其中該圓筒含銀靶材的內徑與該圓筒不銹鋼襯管外徑之間采用過盈配合組裝。

上述圓筒旋轉銀靶在濺射過程中，圓筒形旋轉銀靶可繞濺射陰極的中心軸線勻速轉動(轉速可調)，靶面均勻穿過等離子體區域，整個靶面完全被等離子刻蝕，靶材利用率可在80%以上。

附圖說明

圖1是本發明實施例一的圓筒旋轉銀靶的前視示意圖。

圖2是圖1所示的圓筒旋轉銀靶的側視示意圖。

圖3是圖2所示的圓筒旋轉銀靶沿III-III線剖開的示意圖。

圖4是圖1所示的圓筒旋轉銀靶的單節圓筒含銀靶材的前視示意圖。

圖5是圖4所示的單節圓筒含銀靶材的側視示意圖。

圖6是圖1所示的圓筒旋轉銀靶的圓筒不銹鋼襯管的前視示意圖。

圖7是圖6所示的圓筒不銹鋼襯管的側視示意圖。

圖8是圖7所示的圓筒不銹鋼襯管的沿VIII-VIII線剖開的示意圖。

圖9是圖6所示的圓筒不銹鋼襯管的A處的放大示意圖。

圖10是圖8所示的圓筒不銹鋼襯管的B處的放大示意圖。

圖11是本發明實施例二的圓筒旋轉銀靶的剖面示意圖。

圖12是圖11所示的圓筒旋轉銀靶的側視示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖及實施例對本發明的圓筒旋轉銀靶及其制備方法作進一步的詳細說明。

請參見圖1至圖3，本發明實施例一的圓筒旋轉銀靶100包括圓筒不銹鋼襯管12及圓筒含銀靶材14，該圓筒含銀靶材14的內徑與該圓筒不銹鋼襯管12外徑之間采用過盈配合組裝。其中，該圓筒旋轉銀靶100的總長度可為1480mm～3855mm。

具體在本實施例中，該圓筒含銀靶材14的外表面均勻光滑，內壁面均勻光滑，其可為純銀靶材或銀合金靶材，其中銀合金中銀的含量占總重量的比重可為90%～100%。

請同時參見圖4與圖5，圓筒含銀靶材14可由多節組成，每節長度d可為200mm～300mm，內徑R₁可為132.5mm；其中一節與另外一節的連接部142的外徑R₂可為152～160mm；并且其中一節與另外一節間距可小于或等于0.5mm。