[發明專利]帶有應力梁的機械式光調制器

無效

• 申請號: 201310293759.9
• 申請日: 2009-02-12
• 公開（公告）號: CN103399399A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: J·L·斯泰恩;T·J·布羅斯尼漢;J·H·吳;M·B·安迪生;R·S·佩恩;J·J·菲喬;N·W·哈古德四世
• 申請（專利權）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;G02B26/08;G09G3/34
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 吳曉輝

分案申請的相關信息

本案是分案申請。該分案的母案是申請日為2009年2月12日、申請號為200980112764.7、發明名稱為“帶有應力梁的機械式光調制器”的發明專利申請案。

相關申請的交叉引用

本申請是于2008年3月10提交的美國專利申請號12/045,518、名稱為“Display?Apparatus?and?Methods?For?Manufacture?Thereof”的繼續申請部分，該申請是美國專利申請號11/361,785、名稱為“Display?Apparatus?and?Methods?For?Manufacture?Thereof”、于2008年7月29日授權的現在的美國專利號7,405,852的一個繼續申請，并且本申請要求2008年2月12申請的美國臨時申請號61/028,137、2008年10月27日申請的美國臨時申請號61/108,783、以及2008年10月28日申請的美國臨時申請號61/109,045的優先權。這些申請各自全文通過引用結合在此。

技術領域

總體上，本發明涉及成像顯示器的領域，具體地說，本發明涉及光調制器的設計以便著手解決在制造這些梁的過程中結合在光調制器中的梁上產生的應力。

背景技術

由機械式光調制器建造的顯示器對于基于液晶技術的顯示器是一種有吸引力的替代方案。機械式光調制器足夠快地顯示具有良好視角并且具有大的色彩范圍和灰度范圍的視頻內容。機械式光調制器在投影顯示器的應用中已經是成功的，并且最近已被提出用于直視應用。在本領域中存在著對于快速、明亮、低功率的機械致動的顯示器的需要。確切地講，對于機械致動的顯示器存在一種需要，即這些機械致動的顯示器能以高速及低電壓驅動，以便改進圖像質量并減少功率消耗。

發明內容

根據一個方面，本發明涉及一種空間光調制器，該空間光調制器包括一個基片以及被連接到該基片上的一個調制組件。該調制組件包括一個調制元件以及一個順性梁。該調制組件被構形為用來限制原本就會由這種順性梁內的固有應力引起的順性梁朝向一個對置表面的彎曲。在一個實施方案中，彎曲的限制產生了一種想要達到的梁的休止位置。在另一個實施方案中，該順性梁的形狀被確定為用于促進受該調制組件的構形所限制的該梁的彎曲。

在另一個實施方案中，該順性梁具有第一末端和第二末端并且該順性梁在一個第一錨定件處被連接到該基片上。例如，在一個實施方案中，該順性梁在該第一末端處被連接到該第一錨定件上。在另一個實例中，該順性梁的形狀被確定為從該第一末端處延伸離開該第一錨定件并且朝向該第二末端向回朝向該第一錨定件彎曲。在另一個實例中，將該順性梁連接到該第一末端與第二末端之間的第一錨定件上。在另一個實例中，該順性梁在一個第二錨定件處被另外連接到該基片上。

在另一個實施方案中，該順性梁具有第一末端和第二末端，該第一末端和第二末端被連接到在在該基片上沉積的一個公共的錨定件上。該順性梁的形狀形成一個環框。例如，在一個實施方案中，該環框具有從該共同的錨定件延伸離開的一個第一環框部分以及返回到該共同的錨定件的一個第二環框部分。該第一環框部分的長度可以是實質性地大于該第二環框部分的長度。該第一環框部分和/或該第二環框部分可以包括一個輔助環框。

在另一個實施方案中，該調制組件包括一個第二順性梁。該第一順性梁與該第二順性梁均附接到該調制元件上。

在另一個實施方案中，該調制組件包括不連接到順性梁上的一種靜態結構，在此處該靜態結構限制了順性梁的彎曲。例如，在一個實施方案中，該靜態結構包括一個滑動表面。

在另一個實施方案中，多個附接點在該順性梁上的多個位置處將該順性梁連接到該基片上，這些位置被選擇用來促進受該調制組件的構形限制的該梁的彎曲。

在另一個實施方案中，該順性梁包括彼此連接的第一梁材料和第二梁材料。該第一梁材料具有一種第一應力狀態，并且該第二梁材料具有一種不同的第二應力狀態，由此促進受該調制組件的構形限制的該梁的彎曲。