[發(fā)明專利]帶有應力梁的機械式光調(diào)制器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310293759.9
• 申請日: 2009-02-12
• 公開（公告）號: CN103399399A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設計）人: J·L·斯泰恩;T·J·布羅斯尼漢;J·H·吳;M·B·安迪生;R·S·佩恩;J·J·菲喬;N·W·哈古德四世
• 申請（專利權(quán)）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;G02B26/08;G09G3/34
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11287
• 代理人: 吳曉輝

1.一種光調(diào)制器，包括：

基片，所述基片具有表面；以及

連接到所述基片的調(diào)制組件，所述調(diào)制組件包括調(diào)制元件以及第一順性梁，所述第一順性梁包括遠離第一錨定件延伸的第一段和朝向所述第一錨定件向回延伸的第二段；

其中所述第一段的長度不同于所述第二段的長度。

2.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其中所述第一段和所述第二段的一者包括至少一個狹長部分，所述狹長部分增加所述第一段和所述第二段的所述一者的長度。

3.如權(quán)利要求2所述的光調(diào)制器，其中所述至少一個狹長部分具有環(huán)形、S曲線、之字形以及曲折形狀中至少一種形式的形狀。

4.如權(quán)利要求2所述的光調(diào)制器，其中所述至少一個狹長部分包括一個或多個拐角。

5.如權(quán)利要求2所述的光調(diào)制器，其中所述至少一個狹長部分包括一個或多個彎曲。

6.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其中所述第一段和所述第二段之間的長度差經(jīng)配置以使所述順性梁沿希望的方向彎曲。

7.如權(quán)利要求6所述的光調(diào)制器，其進一步包括與所述第一順性梁間隔開的第二順性梁，其中所述第一順性梁與所述第二順性梁之間的距離至少部分地由所述第一段和所述第二段之間的長度差來確定。

8.如權(quán)利要求7所述的光調(diào)制器，其中所述第一順性梁與所述第二順性梁之間的所述距離通過沿所述第一段和所述第二段的一者包含至少一個狹長部分來確定。

9.如權(quán)利要求8所述的光調(diào)制器，其中所述第一順性梁與所述第二順性梁之間的所述距離在從模具中釋放之后確定。

10.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其中所述第一段和所述第二段的至少一者至少部分地被彎曲以促進沿希望的方向彎曲。

11.如權(quán)利要求10所述的光調(diào)制器，其中順性梁在模具中經(jīng)預配置以使其從模具中釋放時所述第一段和所述第二段的至少一者至少部分地被彎曲。

12.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其中所述第一段和所述第二段沿相對于彼此基本平行的方向延伸。

13.如權(quán)利要求7所述的光調(diào)制器，其中所述第一順性梁包括致動所述調(diào)制元件運動的電極。

14.如權(quán)利要求13所述的光調(diào)制器，其中所述第二順性梁包括電極，所述第二順性梁為所述調(diào)制元件提供支撐且與所述第一順性梁合作地相互作用以致動所述調(diào)制元件運動。

15.一種機電裝置，包括：

基片，所述基片具有表面；以及

連接到所述基片的機電組件，所述機電組件包括活動元件以及第一順性梁，所述第一順性梁包括遠離第一錨定件延伸的第一段和朝向所述第一錨定件向回延伸的第二段；

其中所述第一段的長度不同于所述第二段的長度。

16.如權(quán)利要求15所述的機電裝置，其中所述第一段和所述第二段的一者包括至少一個狹長部分，所述狹長部分增加所述第一段和所述第二段的所述一者的長度。

17.如權(quán)利要求16所述的機電裝置，其中所述至少一個狹長部分具有環(huán)形、S曲線、之字形以及曲折形狀中至少一種形式的形狀。

18.如權(quán)利要求16所述的機電裝置，其中所述至少一個狹長部分包括一個或多個拐角。

19.如權(quán)利要求16所述的機電裝置，其中所述至少一個狹長部分包括一個或多個彎曲。

20.如權(quán)利要求15所述的機電裝置，其中所述第一段和所述第二段之間的長度差經(jīng)配置以使所述順性梁沿希望的方向彎曲。

21.一種機電裝置，包括：

基片，所述基片具有表面；以及

連接到所述基片的機電組件，所述機電組件包括活動元件以及第一順性梁，所述第一順性梁包括遠離第一錨定件延伸的第一段和朝向所述第一錨定件向回延伸的第二段；

用于配置所述第一順性梁的裝置，以使所述第一段的長度不同于所述第二段的長度。

22.如權(quán)利要求21所述的機電裝置，其中所述第一段和所述第二段之間的長度差經(jīng)配置以使所述順性梁沿希望的方向彎曲。