[發(fā)明專利]基板檢查裝置及基板檢查方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310292022.5
• 申請(qǐng)日: 2013-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103543374A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鹽入章弘;村山林太郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日置電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/02
• 分類號(hào): G01R31/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基于對(duì)檢查對(duì)象基板上規(guī)定的各檢查點(diǎn)進(jìn)行測(cè)定而得到的物理量，來(lái)檢查各檢查點(diǎn)是否合格的基板檢查裝置及基板檢查方法。

背景技術(shù)

作為這種基板檢查裝置及基板檢查方法，本申請(qǐng)人在日本專利特開(kāi)平7-104026號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了在線測(cè)試儀以及焊接不合格檢測(cè)方法（基板檢查方法）。該在線測(cè)試儀為基板檢查裝置，能夠檢查在安裝于被檢查基板表面的扁平封裝IC等（以下稱為電子元器件）的引線（連接用端子）與要連接到該引線的圖案之間是否發(fā)生焊接不合格，包括：測(cè)定臺(tái)，該測(cè)定臺(tái)可以放置被檢查基板；4根測(cè)定探頭；4臺(tái)X-Y單元，該X-Y單元可以讓各測(cè)定探頭分開(kāi)獨(dú)立地在任意的X-Y方向上移動(dòng)；以及電阻測(cè)定電路，該電阻測(cè)定電路連接有各測(cè)定探頭。

利用該在線測(cè)試儀檢測(cè)焊接不合格（以下稱為“被檢查基板的檢查”）時(shí)，首先，用與電阻測(cè)定電路的＋源極端子相連接的測(cè)定探頭、以及與電阻測(cè)定電路的＋感應(yīng)端子相連接的測(cè)定探頭這兩根測(cè)定探頭，分別檢測(cè)安裝在被檢查基板上的電子元器件的引線的肩部、前端部等。此外，用與電阻測(cè)定電路的－感應(yīng)端子相連接的測(cè)定探頭、以及與電阻測(cè)定電路的－源極端子相連接的測(cè)定探頭這兩根測(cè)定探頭，分別檢測(cè)要與被上述兩根測(cè)定探頭所檢測(cè)的引線連接的圖案。接著，向兩個(gè)源極端子之間提供固定電流，在此狀態(tài)下測(cè)定兩個(gè)感應(yīng)端子之間所產(chǎn)生電壓的電壓值，并且基于提供的固定電流和測(cè)定的電壓值，計(jì)算電子元器件的引線和圖案之間的電阻值（利用四端子法的電阻值測(cè)定處理）。

此時(shí)，在引線與圖案正常焊接的情況下，計(jì)算出的電阻值在預(yù)先規(guī)定的閥值以下。因此，在計(jì)算出閥值以下的電阻值時(shí)，判定被兩根測(cè)定探頭檢測(cè)的圖案與被另兩根測(cè)定探頭檢測(cè)的引線正常焊接。另一方面，當(dāng)引線與圖案在不完全的狀態(tài)下焊接時(shí)，將計(jì)算出超過(guò)閥值的較大的電阻值。此外，在引線完全離開(kāi)圖案的情況下（未連接狀態(tài)的情況下），計(jì)算出的電阻值的值為無(wú)限大。因而，在計(jì)算出超出閥值的較大值（包含無(wú)限大）的電阻值時(shí)，判定引線未與圖案正常焊接（發(fā)生了焊接不合格）。之后，對(duì)其他的引線和圖案之間也按照與上述一系列處理相同的步驟來(lái)測(cè)定電阻值，并與閥值進(jìn)行比較，由此檢查被檢查基板上的各部分是否產(chǎn)生了焊接不合格。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開(kāi)7－104026號(hào)公報(bào)(第3-5頁(yè)、圖1～圖10)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

然而，本申請(qǐng)人所公開(kāi)的在線測(cè)試儀以及該基板檢查方法中存在以下需要改進(jìn)的課題。即，本申請(qǐng)人所公開(kāi)的在線測(cè)試儀（基板檢查方法）采用的是通過(guò)依次測(cè)定電子元器件的引線和圖案之間的電阻值來(lái)檢查是否產(chǎn)生了焊接不合格的結(jié)構(gòu)（方法）。在此情況下，在利用該種基板檢查裝置檢查被檢查基板時(shí)，不僅需要檢查是否有焊接不合格，還需要檢查安裝元器件是否有誤（安裝了與所要安裝的電子元器件不同的元器件的狀態(tài)）、安裝元器件是否有破損（安裝了不能發(fā)揮本來(lái)的電性能的不合格的電子元器件的狀態(tài)）。

具體而言，例如，在將作為電子元器件的電容性元件安裝在被檢查基板上的情況下，除了要檢查電容性元件的一對(duì)連接用電極（連接用端子）和導(dǎo)體圖案之間有無(wú)焊接不合格以外，還要檢查該電容性元件是否有誤、是否是不合格的元件。在此情況下，在檢查是否有誤、是否不合格時(shí)，作為一個(gè)示例，在用一對(duì)測(cè)定探頭分別檢測(cè)檢查對(duì)象的電容性元件的兩個(gè)連接用電極的狀態(tài)下，向兩個(gè)源極端子之間提供固定電流，在該狀態(tài)下，測(cè)定兩個(gè)感應(yīng)端子之間所生成電壓的電壓值，并且基于提供的固定電流的電流值、測(cè)定到的電壓值、該電流以及電壓的相位差，計(jì)算靜電電容，并比較計(jì)算到的值與基準(zhǔn)值。