[發(fā)明專利]基板檢查裝置及基板檢查方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310292022.5
• 申請日: 2013-07-12
• 公開（公告）號: CN103543374A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設計）人: 鹽入章弘;村山林太郎
• 申請（專利權）人: 日置電機株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種基板檢查裝置，包括：

至少一對檢查用探頭，對安裝有電容性元件的檢查對象基板上所規(guī)定的多個檢查點進行檢測；

移動機構，使該各檢查用探頭和所述檢查對象基板中的至少一方相對于另一方進行移動，從而使所述各檢查用探頭檢測所述各檢查點；

測定部，基于對所述各檢查點經(jīng)由所述各檢查用探頭輸入輸出的電信號，來測定所述各檢查點之間的物理量；以及

檢查處理部，控制所述移動機構進行的所述至少一方的移動、以及所述測定部進行的所述物理量的測定，并且基于所述測定部的測定結果，來判別所述各檢查點之間是否合格，

所述基板檢查裝置的特征在于，

所述檢查處理部在檢查所述檢查對象基板時，控制所述移動機構，使所述至少一方相對于所述另一方進行移動，由此，用所述各檢查用探頭中的一個檢查用探頭檢測要與所述電容性元件的一個連接用電極連接的第1連接用導體部上所規(guī)定的所述檢查點，且用所述各檢查用探頭中的另一個檢查用探頭檢測要與所述電容性元件的另一個連接用電極連接的第2連接用導體部上所規(guī)定的所述檢查點，并且控制所述測定部來執(zhí)行第1測定處理，該第1測定處理是測定所述第1連接用導體部上的所述檢查點和所述第2連接用導體部上的所述檢查點之間的介質(zhì)損耗因子來作為所述物理量，當利用該測定部測定到超過預先規(guī)定的值的介質(zhì)損耗因子時，判定所述第1連接用導體部與所述第2連接用導體部之間不合格。

2.如權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，

所述檢查處理部在檢查所述檢查對象基板時，控制所述移動機構，用所述一個檢查用探頭檢測所述第1連接用導體部上的所述檢查點，且用所述另一個檢查用探頭檢測所述第2連接用導體部上的所述檢查點，并且，控制所述測定部來執(zhí)行第2測定處理，該第2測定處理是測定所述第1連接用導體部上的所述檢查點和所述第2連接用導體部上的所述檢查點之間的靜電電容來作為所述物理量，當利用該測定部測定到超過預先規(guī)定的上限值的靜電電容、以及小于預先規(guī)定的下限值的靜電電容時，判定所述第1連接用導體部與所述第2連接用導體部之間不合格。

3.如權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，

所述檢查處理部控制所述測定部，利用所述第1連接用導體部上的所述檢查點與所述第2連接用導體部上的所述檢查點之間一次所述電信號的輸入輸出，分別測定該兩檢查點之間的所述介質(zhì)損耗因子以及所述靜電電容。

4.一種基板檢查方法，使對安裝有電容性元件的檢查對象基板上所規(guī)定的多個檢查點進行檢測的至少一對檢查用探頭、和所述檢查對象基板中的至少一方相對于另一方進行移動，從而使該各檢查用探頭檢測該各檢查點，并且，基于對所述各檢查點經(jīng)由所述各檢查用探頭輸入輸出的電信號，來測定所述各檢查點之間的物理量，且基于該測定結果，來判別所述各檢查點之間是否合格，其特征在于，

在檢查所述檢查對象基板時，使所述至少一方相對于所述另一方進行移動，由此，用所述各檢查用探頭中的一個檢查用探頭檢測要與所述電容性元件的一個連接用電極連接的第1連接用導體部上所規(guī)定的所述檢查點，且用所述各檢查用探頭中的另一個檢查用探頭檢測要與所述電容性元件的另一個連接用電極連接的第2連接用導體部上所規(guī)定的所述檢查點，并且執(zhí)行第1測定處理，該第1測定處理是測定所述第1連接用導體部上的所述檢查點和所述第2連接用導體部上的所述檢查點之間的介質(zhì)損耗因子來作為所述物理量，當測定到超過預先規(guī)定的值的介質(zhì)損耗因子時，判定所述第1連接用導體部與所述第2連接用導體部之間不合格。