[發明專利]有機層沉積設備、有機發光顯示裝置及其制造方法

在審

• 申請號: 201310288033.6
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103545462A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 韓圭燮
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50;C23C14/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓芳;金光軍

1.一種有機層沉積設備，所述有機層沉積設備包括：

輸送單元，包括用于固定基底并且被構造為與所述基底一起移動的傳送單元、用于將其上固定有基底的傳送單元沿第一方向移動的第一輸送單元和用于在已經完成沉積之后將基底從其分開的傳送單元沿與第一方向相反的方向移動的第二輸送單元；以及

沉積單元，包括保持在真空狀態下的室以及用于在固定在傳送單元上的基底上沉積有機層的至少一個有機層沉積組件，

傳送單元包括：

運送器，包括無接觸式電源模塊；和

靜電卡盤，固定地結合到運送器以固定基底，

傳送單元被構造為在第一輸送單元和第二輸送單元之間循環，

固定在傳送單元上的基底被構造為在被第一輸送單元傳送的同時與有機層沉積組件分隔開設定距離。

2.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，充電軌道在與第二輸送單元中的無接觸式電源模塊對應的位置上，從而當運送器在第二輸送單元中被輸送并且以無接觸方式對無接觸式電源模塊提供電力時，在充電軌道和無接觸式電源模塊之間形成磁場。

3.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送單元包括相互平行形成的一對引導軌道和結合到所述引導軌道的引導塊。

4.根據權利要求3所述的有機層沉積設備，其中，充電軌道在引導軌道中位于與無接觸式電源模塊對應的部分處，從而當運送器在第一輸送單元中被輸送并且以無接觸方式對無接觸式電源模塊提供電力時，在充電軌道和無接觸式電源模塊之間形成磁場。

5.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，用于吸附基底的鐵卡盤還形成在靜電卡盤的一側，并且鐵卡盤被構造成接觸基底。

6.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送單元和第二輸送單元被構造為穿過沉積單元。

7.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送單元和第二輸送單元彼此平行地分別布置在上方和下方。

8.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，所述有機層沉積設備還包括：

裝載單元，用于將基底固定在傳送單元上；和

卸載單元，用于將在穿過沉積單元的同時已經完成了沉積的基底與傳送單元分開。

9.根據權利要求8所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送單元被構造為將傳送單元順序輸送到裝載單元、沉積單元和卸載單元中。

10.根據權利要求8所述的有機層沉積設備，其中，第二輸送單元被構造為將傳送單元順序輸送到卸載單元、沉積單元和裝載單元中。

11.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，所述至少一個有機層沉積組件包括：

沉積源，用于排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，位于沉積源的側面并且包括多個沉積源噴嘴；

圖案化縫隙片，面對沉積源噴嘴單元并且包括沿著一個方向布置的多個圖案化縫隙，

其中，沉積源被構造為將沉積材料排放為穿過圖案化縫隙片，以按特定圖案沉積在基底上。

12.根據權利要求11所述的有機層沉積設備，其中，在第一方向和與第一方向垂直的第二方向中的至少任何一個方向上，有機層沉積組件的圖案化縫隙片形成為比基底小。

13.根據權利要求1所述的有機層沉積設備，其中，磁軌位于運送器的表面上，第一輸送單元和第二輸送單元中的每個包括多個線圈，其中，磁軌和多個線圈結合在一起來構成用于產生使傳送單元移動的驅動力的操作單元。

14.根據權利要求13所述的有機層沉積設備，其中，第一輸送單元包括：引導構件，每個引導構件包括容納槽，其中，各容納槽被構造為容納傳送單元的兩側，以引導傳送單元沿著第一方向移動；磁懸浮軸承，被構造為使傳送單元從容納槽懸浮，從而使傳送單元以不與容納槽接觸的方式移動。

15.根據權利要求14所述的有機層沉積設備，其中，磁懸浮軸承包括布置在運送器的兩個側表面上的側磁懸浮軸承和布置在運送器上方的上磁懸浮軸承。