[發明專利]有機層沉積設備、有機發光顯示裝置及其制造方法

在審

• 申請號: 201310288033.6
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103545462A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 韓圭燮
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50;C23C14/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓芳;金光軍

本申請要求于2012年7月10日提交到韓國知識產權局的第10-2012-0075142號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的公開通過引用被完全包含于此。

技術領域

下面的描述涉及一種有機層沉積設備、一種使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法以及一種使用該方法制造的有機發光顯示裝置，更具體地講，涉及一種適于在大規模生產大基底中使用并實現高清晰度圖案化的有機層沉積設備、一種通過使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法以及一種使用該方法制造的有機發光顯示裝置。

背景技術

與其它顯示裝置相比，有機發光顯示裝置具有更寬的視角、更好的對比度特性和更快的響應速度，因此已經作為下一代顯示裝置而受到關注。

有機發光顯示裝置包括設置在彼此相對布置的第一電極和第二電極之間的中間層（包括發射層）。可以利用各種方法來形成所述電極和中間層，這些方法之一是獨立沉積方法。當通過利用沉積方法制造有機發光顯示裝置時，將具有與將要形成的有機層的圖案相同的圖案的精細金屬掩模（FMM）設置為與其上形成有機層等的基底緊密接觸，將有機層材料沉積在FMM上，以形成具有期望圖案的有機層。

然而，利用這種FMM的沉積方法在利用大的母玻璃制造較大的有機發光顯示裝置時存在困難。例如，當使用這種大的掩模時，掩模會由于引力而彎曲，從而使其圖案扭曲。這種缺點不利于朝著高清晰度圖案發展的近期趨勢。

另外，將基底與FMM對準以彼此緊密接觸的工藝、在基底上執行沉積的工藝以及將FMM與基底分開的工藝耗費時間，導致制造時間長并且生產效率低。

在本背景技術部分中公開的信息對于本發明的發明人來說在實現本發明之前是已知的，或者所述信息是在實現本發明的過程中獲取的技術信息。因此，它可能包含對于本領域普通技術人員來說在本國不構成已知的現有技術的信息。

發明內容

本發明的實施例的各方面提供了一種適于在大基底的大規模生產中使用并實現高清晰度圖案化的有機層沉積設備、一種通過使用該設備制造有機發光顯示裝置的方法以及一種使用該發方法制造的有機發光顯示裝置。

根據本發明的實施例，提供了一種有機層沉積設備，所述有機層沉積設備包括：輸送單元，包括用于固定基底并且被構造為與所述基底一起移動的傳送單元、用于將其上固定有基底的傳送單元沿第一方向移動的第一輸送單元和用于在已經完成沉積之后將基底從其分開的傳送單元沿與第一方向相反的方向移動的第二輸送單元；和沉積單元，包括保持在真空狀態下的室以及用于在固定在傳送單元上的基底上沉積有機層的至少一個有機層沉積組件。傳送單元包括：運送器，包括無接觸式電源（CPS）模塊；和靜電卡盤，固定地結合到運送器以固定基底。傳送單元被構造為在第一輸送單元和第二輸送單元之間循環，固定在傳送單元上的基底被構造為在被第一輸送單元傳送的同時與有機層沉積組件分隔開設定距離。

充電軌道可形成在與第二輸送單元中的CPS模塊對應的位置上，從而當運送器在第二輸送單元中被輸送并且以無接觸方式對CPS模塊供應電力時，在充電軌道和CPS模塊之間形成磁場。

第一輸送單元可包括相互平行形成的一對引導軌道和結合到所述一對引導軌道的引導塊。

充電軌道可形成在引導軌道中位于與CPS模塊對應的部分處，從而當運送器在第一輸送單元中被輸送并且以無接觸方式對CPS模塊供應電力時，在充電軌道和CPS模塊之間形成磁場。

用于吸附基底的鐵卡盤還可形成在靜電卡盤的一側，并且基底可接觸鐵卡盤。

第一輸送單元和第二輸送單元可被構造為穿過沉積單元。

第一輸送單元和第二輸送單元可彼此平行地分別布置在上方和下方。

所述有機層沉積設備還可包括：裝載單元，用于將基底固定在傳送單元上；和卸載單元，用于將在穿過沉積單元的同時已經對其完成了沉積的基底與傳送單元分開。

第一輸送單元可被構造為將傳送單元順序輸送到裝載單元、沉積單元和卸載單元中。

第二輸送單元可被構造為將傳送單元順序輸送到卸載單元、沉積單元和裝載單元中。

有機層沉積組件可包括：沉積源，用于排放沉積材料；沉積源噴嘴單元，位于沉積源的側面并且包括多個沉積源噴嘴；圖案化縫隙片，面對沉積源噴嘴單元并且包括沿著一個方向布置的多個圖案化縫隙，其中，沉積源可被構造為排放沉積材料穿過圖案化縫隙片，以按特定圖案沉積在基底上。

在第一方向和與第一方向垂直的第二方向中的至少任何一個方向上，有機層沉積組件的圖案化縫隙片可形成為比基底小。