[發明專利]基板檢測裝置與方法

有效

• 申請號: 201310287516.4
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103353457A
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 王覺葵;高易宏;孫其仁
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種基板檢測裝置，適用于檢測一容置載具中的多片基板是否出現破片，其中該些基板面對面地排列于該容置載具中，該基板檢測裝置包含：

光發射器，用以產生一光束；

多個反射鏡單元，用以反射該光束，由此使該光束在該些基板之間的間隔中沿平行于該些基板的平面的方向傳遞；以及

光接收器，用以根據是否接收到該光束產生一破片偵測輸出。

2.如權利要求1所述的基板檢測裝置，其中該光發射器配置于該些基板中的一頂基板旁的一側，且該光接收器配置于該些基板中的一底基板旁的一側。

3.如權利要求2所述的基板檢測裝置，其中該些反射鏡單元中每一者包含第一反射鏡與第二反射鏡，且該第一反射鏡與該第二反射鏡兩者的一入射面大致相互垂直地配置。

4.如權利要求3所述的基板檢測裝置，其中該些反射鏡單元分別交錯地配置于該些基板旁的相對兩側。

5.如權利要求3或4所述的基板檢測裝置，其中該光束沿一入射方向投射至該第一反射鏡，經該第一反射鏡與該第二反射鏡反射后并沿一相反方向行進。

6.如權利要求1至權利要求4中任一項所述的基板檢測裝置，其中該光束為一激光，且該激光具有一波長，該波長約在450納米以上。

7.如權利要求6所述的基板檢測裝置，其中該些反射鏡單元對于該激光的一光損失率至多約2%。

8.一種基板檢測裝置，適用于檢測一容置載具中的多片基板是否出現破片，其中該些基板的平面彼此具有一間隔并平行排列于該容置載具中，該基板檢測裝置包含：

多個反射鏡單元，各反射鏡單元分別交錯地配置于該些基板旁的相對兩側，其中每一反射鏡單元包含第一反射鏡與第二反射鏡，且該第一反射鏡與該第二反射鏡兩者的一入射面大致相互垂直地配置；

光發射器，配置于該些基板中的一頂基板旁的一側，用以產生一光束，其中該光束沿一入射方向投射至該第一反射鏡，經該第一反射鏡與該第二反射鏡反射后并沿一相反方向行進；以及

光接收器，配置于該些基板中的一底基板旁的一側，用以依據是否接收到該光束，以判斷該容置載具內的該些基板是否出現破裂。

9.一種基板破裂檢測方法，適用于檢測多個基板，其中該些基板的平面彼此平行排列于一容置載具中，該基板破裂檢測方法包含：

在該些基板中的一頂基板旁的一側輸入一光束，并通過多個反射鏡單元使該光束在各基板之間的間隔中沿平行于該些基板的一平面的方向直線傳遞；以及

在該些基板中的一底基板旁的一側接收該光束，以判斷該容置載具內的該些基板是否出現破裂。

10.如權利要求9所述的基板破裂檢測方法，其中該些反射鏡單元分別交錯地配置于該些基板旁的相對兩側，各反射鏡單元包含第一反射鏡與第二反射鏡，且該第一反射鏡與該第二反射鏡兩者的一入射面大致相互垂直地配置。

11.如權利要求10所述的基板破裂檢測方法，其中該光束沿一入射方向投射至該第一反射鏡，經該第一反射鏡與該第二反射鏡反射后沿一相反方向行進。