[發明專利]基板檢測裝置與方法

有效

• 申請號: 201310287516.4
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103353457A
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 王覺葵;高易宏;孫其仁
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

技術領域

本發明涉及一種檢測裝置，且特別是涉及具有多個反射鏡的基板檢測裝置。

背景技術

在制作半導體材料時需經過多樣化流程的處理且須配合各種不同的制作工藝設備，因此在整個流程中會運送到不同的工作站進行處理。

一般而言，制造廠會使用自動化物料搬運系統（Automated?Material?Handling?System,AMHS）以在各個不同工作站中進行輸送。自動化物料搬運系統（AMHS）常利用有軌式無人搬運車（Railed?Guided?Vehicle,RGV）在各個工作站之間的傳輸帶或輸送軌道移載半導體材料。

然而，在搬運過程中可能會因為有軌式無人搬運車（RGV）進行前后、旋轉等移動操作，使得前述的半導體材料意外滑動與掉落，進而造成半導體材料的破裂。當半導體材料破裂時，不僅會對自動化物料搬運系統（AMHS）內的其他半導體材料造成污染，在傳輸帶或輸送軌道上的破裂物更可能造成傳輸帶或輸送軌道的刮傷。

因此，如何能在自動化物料搬運系統（AMHS）搬運過程中立即得知半導體材料出現破裂以即時清理破裂時產生的污染物，實屬當前重要研發課題之一，也成為當前相關領域極需改進的目標。

發明內容

為了解決上述的問題，本發明提供了一種基板檢測裝置，利用多個反射鏡的配置實現即時偵測破裂的功能。

基板檢測裝置適用于檢測容置載具中的多片基板是否出現破片，其中各基板面對面地排列于容置載具中，基板檢測裝置包含光發射器、多個反射鏡單元以及光接收器。光發射器用以產生光束。多個反射鏡單元用以反射光束，由此使光束在各基板之間的間隔中沿平行于各基板的平面的方向傳遞。光接收器用以根據是否接收到光束已產生破片偵測輸出。

根據本發明一實施例，其中前述的光發射器配置于各基板中的頂基板旁的一側，且前述的光接收器配置于各基板中的底基板旁的一側。

根據本發明一實施例，其中前述的各反射鏡單元中每一者包含第一反射鏡與第二反射鏡，且第一反射鏡與第二反射鏡大致相互垂直地配置。

根據本發明一實施例，其中前述多個反射鏡單元分別交錯地配置于各基板旁的相對兩側。

根據本發明一實施例，其中前述的光束沿一入射方向投射至前述的第一反射鏡，經第一反射鏡與前述的第二反射鏡反射后后沿一相反方向行進。

根據本發明一實施例，其中前述的光束可為激光，且激光的波長約在450納米以上。

根據本發明一實施例，其中前述的反射鏡單元對于激光的光損失率至多約2%。

本發明的次一態樣是提供一種基板檢測裝置，基板檢測裝置一種基板檢測裝置適用于檢測容置載具中的多片基板是否出現破片，其中各基板的平面彼此具有一間隔并平行排列于容置載具中，前述的基板檢測裝置包含多個反射鏡單元、光發射器以及光接收器。各反射鏡單元分別交錯地配置于各基板旁的相對兩側，其中每一反射鏡單元包含第一反射鏡與第二反射鏡，且第一反射鏡與第二反射鏡兩者大致相互垂直地配置。光發射器配置于各基板中的頂基板旁的一側，且光發射器用以產生一光束，其中光束沿一入射方向投射至前述的第一反射鏡，經第一反射鏡與第二反射鏡反射后并沿一相反方向行進。光接收器配置于各基板中的底基板旁的一側，且光接收器用以依據是否接收到光束以判斷該容置載具內的多個基板是否出現破裂。

本發明的又一態樣是提供一種基板檢測方法，基板檢測方法適用于檢測多個基板，其中各基板的平面彼此平行排列于容置載具中，基板破裂檢測方法包含：在多個基板中的頂基板旁的一側輸入光束，并通過多個反射鏡單元使光束在各基板之間的間隔中沿平行于各基板的一平面的方向直線傳遞；以及在各基板中的底基板旁的一側接收光束，以判斷容置載具內的多個基板是否出現破裂。

根據本發明一實施例，其中前述的各反射鏡單元中每一者包含一第一反射鏡與一第二反射鏡，且第一反射鏡與第二反射鏡兩者的入射面大致相互垂直地配置。

根據本發明一實施例，其中前述的光束沿一入射方向投射至第一反射鏡，經第一反射鏡與第二反射鏡反射后沿一相反方向行進。

綜上所述，本發明的技術方案與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。通過上述技術方案，可達到相當的技術進步，并具有產業上的廣泛利用價值，本揭示內容通過多個反射鏡的配置即可達成多片基板的即時檢測，實施上簡易快速且不需支出過高的成本。

附圖說明

為讓本發明的上述和其他目的、特征、優點與實施例能更明顯易懂，所附附圖的說明如下：

圖1A是依照本發明一實施例繪示一種容置載具的立體示意圖；