[發(fā)明專利]樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310285428.0
• 申請(qǐng)日: 2013-07-09
• 公開（公告）號(hào): CN103545224A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊藤高志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山田尖端科技株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/56
• 分類號(hào): H01L21/56
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種樹脂模塑裝置，其用于對(duì)被模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于，

上述模塑模具具有：

一模具，其用于載置上述工件；

另一模具，在其模具夾持面上形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面，

在上述另一模具上設(shè)有多個(gè)通氣孔，該多個(gè)通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于上述模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開，

在上述一模具上設(shè)有成對(duì)的膜褶皺矯正構(gòu)件，該膜褶皺矯正構(gòu)件在以與上述工件載置面相面對(duì)的方式搬送的上述離型膜的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜，從而，對(duì)于該離型膜，不僅在其長(zhǎng)度方向上作用有張力、而且在其寬度方向上也作用有張力來(lái)去除膜褶皺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所記載的樹脂模塑裝置，其中，

在上述另一模具的膜吸附面上以與上述膜褶皺矯正構(gòu)件相面對(duì)的方式形成有用于收容被該膜褶皺矯正構(gòu)件按壓的上述離型膜的松弛部分的收容凹部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的樹脂模塑裝置，其中，

對(duì)上述另一模具和載置有上述工件的上述一模具進(jìn)行合模，一邊利用上述膜褶皺矯正構(gòu)件向上述收容凹部按壓將上述另一模具的表面覆蓋的上述離型膜，一邊自規(guī)定的上述通氣孔噴出空氣，在膜褶皺被校正的狀態(tài)下停止上述空氣的噴出，利用在上述模腔凹部的內(nèi)側(cè)和外側(cè)開口的通氣孔抽吸空氣，從而以依照上述模具的分型面的狀態(tài)將上述離型膜沿著包括上述模腔凹部的底部在內(nèi)的上述另一模具的模具夾持面吸附保持。

4.一種樹脂模塑裝置，其利用模塑模具夾持在基材上搭載有電子零件的工件，對(duì)包含凸部的成形品進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于，

該樹脂模塑裝置具有：

一模具，其用于載置上述工件；

另一模具，其具有模腔芯模，該模腔芯模在該另一模具的模具夾持面形成有第1模腔凹部且在該第1模腔凹部的底部分別形成有用于成形上述凸部的第2模腔凹部和在上述第1模腔凹部的模腔底部開口的第3通氣孔，利用離型膜覆蓋該另一模具的包括上述第1模腔凹部的底部在內(nèi)的模具夾持面，

上述另一模具與載置有上述工件的上述一模具合模，利用上述第3通氣孔的抽吸將上述離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持，在該狀態(tài)下，向上述第1模腔凹部?jī)?nèi)填充模塑樹脂，施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力而一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部?jī)?nèi)拉伸，一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所記載的樹脂模塑裝置，其中，

在上述第1模腔凹部的底部設(shè)有第4通氣孔，該第4通氣孔開口于與上述第2模腔凹部相連的連通槽，在上述第1模腔凹部填充了模塑樹脂后，施加最終樹脂壓力而一邊使上述離型膜在上述第2模腔凹部?jī)?nèi)拉伸，一邊使封閉在該第2模腔凹部?jī)?nèi)的空氣經(jīng)由上述連通槽向上述第4通氣孔逃逸，一邊向上述第2模腔凹部填充模塑樹脂。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所記載的樹脂模塑裝置，其中，

一邊自上述第4通氣孔抽吸空氣，一邊施加最終樹脂壓力，使上述離型膜在上述第2模腔凹部?jī)?nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部填充模塑樹脂。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所記載的樹脂模塑裝置，其特征在于，

通過(guò)使上述模塑模具夾緊而在上述另一模具的模腔芯模與上述一模具之間形成第1模腔凹部，在上述模腔芯模的底部形成有第2模腔凹部和第3通氣孔，設(shè)有在與該第2模腔凹部相連的連通槽中開口的第4通氣孔，上述另一模具與載置有上述工件的上述一模具合模，利用第3通氣孔的抽吸將上述離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述另一模具的模具夾持面限定的高度的方式吸附保持，在該狀態(tài)下，在上述工件上填充模塑樹脂，施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力，一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部?jī)?nèi)拉伸，一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。