[發明專利]表面檢查裝置及方法、溶液制膜方法及設備

在審

• 申請號: 201310276962.5
• 申請日: 2013-07-03
• 公開（公告）號: CN103529052A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 柏木研二;大野清一;武田亮
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892;G01N21/896
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種流延支承體的表面檢查裝置及方法、以及溶液制膜方法及設備。

背景技術

具有透光性的熱塑性薄膜為輕質且易成型，因此作為光學薄膜被廣泛利用。其中，利用纖維素酰化物等的纖維素酯類薄膜，以照片感光用薄膜為代表，近幾年市場要求不斷擴大的液晶顯示裝置的構成部件即光學薄膜（例如，相位差薄膜或偏光板保護薄膜等）而被使用。

這種薄膜通過溶液制膜方法進行制造。溶液制膜方法如下，即使包含聚合物和溶劑的聚合物溶液（濃液）流至支承體上來形成流延膜。接著，在流延膜固化至能夠傳送的程度之后，將其作為濕潤薄膜從支承體剝下。然后將該濕潤薄膜送至干燥室。在干燥室將濕潤薄膜卷繞在輥上進行傳送的同時，使溶劑從濕潤薄膜蒸發而成為薄膜。另外，在通過冷卻使流延膜固化的冷卻流延方式的情況下，代替干燥室，送至針板拉幅機來用針板拉幅機使濕潤薄膜干燥。

然而，隨著近幾年液晶顯示器（LCD）的高清晰度和智能手機（多功能移動電話）、平板型電腦等便攜型終端裝置的普及，對于使用于這些顯示裝置中的光學薄膜，比以往進一步要求表面無微細突起或孔等。

關于這些光學薄膜的表面上的微細突起或孔等缺陷，如日本專利公開平6-207910號公報所記載，對連續行走的薄膜沿該寬度方向掃描光束，使透過薄膜或反射的檢查光具有光束直徑以下的狹縫寬度，且通過與光束的行走方向平行配置的受光窗之后入射至受光器，通過來自該受光器的光電轉換輸出檢查被檢查體的表面缺陷。另外，日本專利公開平8-261949號公報中，將狹縫開口寬度設為檢查光的射束直徑的（1/10）以上（2/3）以下的范圍來高精度地檢查表面缺陷。

但是，上述日本專利公開平6-207910號公報及日本專利公開平8-261949號公報的檢查裝置檢查作為產品的薄膜的缺陷。而且，根據缺陷檢查數據來特定薄膜上的缺陷部分，并且在顯示裝置等中顯示，以免使用該缺陷部分。進行產品化時，排除缺陷部分來使用。因此，上述日本專利公開平6-207910號公報及日本專利公開平8-261949號公報的檢查裝置雖然能夠避免使用缺陷部分，但是并沒有實現徹底地解決減少薄膜本身的缺陷部分。

溶液制膜方法中，由于將流延于流延支承體上的流延膜剝下并進行干燥而作為薄膜的關系，薄膜的表面狀態取決于流延支承體的表面狀態。因此，流延支承體的制造階段中，檢查該表面狀態，若發現微細凹凸，當其為凸出時研磨該部分，其為凹陷時進行點焊之后進行研磨，進行消除微細凹凸的表面精加工，以免作為產品的薄膜上產生微細缺陷。

以往，這種流延支承體的檢查通過熟練的檢查員目視觀察表面來發現微細凹凸缺陷。然而，隨著LCD的高清晰度和智能手機、平板型電腦等便攜型終端裝置的普及，用于這些裝置的光學薄膜的品質要求等級日益提高。因此，至今由熟練者進行的表面狀態保證所要求的缺陷尺寸逐漸變得小于目視等級。因此，通過熟練者進行的檢查開始受限，而要求新的流延支承體的檢查方法。

并且，因近幾年LCD的大屏幕化要求，對于溶液制膜中的流延支承體也要求寬幅。但是，作為流延支承體材料的帶鋼的寬度受到制造帶鋼的生產線設備寬度的限制，不易對應寬幅化。因此，如韓國專利公開公報第2009-110082號公報所記載，還提出有在以往的流延支承體的兩側沿長邊方向焊接（縱焊接）新的側板來加寬側板對應量的縱焊接帶。并且，即使為以往的流延帶，在制造環狀帶時，在寬度方向上焊接（橫焊接）帶鋼的兩端部連結成環狀。因此，即使為以往的流延帶，也存在沿寬度方向延伸的橫焊接線。在包含這種縱焊接線或橫焊接線等焊接部的流延帶中，交納流延帶時，由熟練者進行嚴格的表面缺陷檢查。而且，通過嚴格的檢查發現焊接部的針孔或龜裂，該被發現的缺陷通過點焊或之后的研磨等的精加工處理消除。因此，作為流延帶剛導入到溶液制膜設備之后，作為薄膜的缺陷面而轉印的尺寸的缺陷被排除，所得到的薄膜中不會出現微細凹凸缺陷。

但是，若通過溶液制膜后的研磨補修等對流延帶進行研磨，則交納流延帶時為微小而沒有被判定為缺陷的例如壺狀的針孔等時，針孔有時因研磨較大地開口而發展為缺陷。因此，交納流延帶時的表面缺陷的檢查中，還需要考慮之后的研磨補修，也需要將研磨后發展為缺陷的壺狀的微細針孔判定為缺陷，而期待開發代替由熟練者進行的目視檢查的檢測精度較高的檢查方法及檢查裝置。