[發明專利]表面檢查裝置及方法、溶液制膜方法及設備

在審

• 申請號: 201310276962.5
• 申請日: 2013-07-03
• 公開（公告）號: CN103529052A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 柏木研二;大野清一;武田亮
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892;G01N21/896
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種流延支承體的表面檢查裝置，其特征在于，具備：

掃描儀，對連續行走的流延支承體沿所述流延支承體的寬度方向掃描激光，在所述流延支承體上的所述激光的光斑直徑為20μm以上50μm以下；

接收機，對在所述流延支承體反射的所述激光進行光電轉換；

遮光板，設置于所述接收機且具有狹縫開口，所述狹縫開口沿著在所述流延支承體反射的所述激光的掃描線配設，所述狹縫開口的狹縫寬度為所述光斑直徑的30倍以上200倍以下；及

缺陷判定部，所述缺陷判定部對來自所述接收機的光電轉換信號進行二進制化而生成二進制信號，所述缺陷判定部根據所述二進制信號檢測缺陷候選，所述缺陷判定部將大于預先設定的值的缺陷候選判定為缺陷。

2.根據權利要求1所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述流延支承體為流延滾筒與卷繞在1對支承滾筒上的環狀流延帶中的任一方，基于所述激光的掃描線形成于所述流延滾筒的周面與卷繞在所述支承滾筒上的流延帶部分中的任一方，被形成所述掃描線的所述流延支承體的曲率半徑為100mm以上4000mm以下。

3.根據權利要求1或2所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置具備定位單元，所述定位單元將所述掃描儀和所述接收機相對于所述流延支承體定位。

4.根據權利要求3所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述定位單元具有框架、掃描儀保持部及接收機保持部，所述框架配設成與所述流延支承體相對，所述掃描儀保持部使所述掃描儀圍繞與所述流延支承體上的所述激光的掃描線平行的X軸轉動而在任意轉動位置固定所述掃描儀，所述接收機保持部使所述接收機圍繞X軸轉動而在任意轉動位置固定所述接收機，以便由所述狹縫開口接收從所述流延支承體反射的所述激光。

5.根據權利要求4所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述掃描儀保持部使所述掃描儀以所述流延支承體上的設計時掃描線為中心轉動，所述接收機保持部使所述接收機以所述設計時掃描線為中心轉動。

6.根據權利要求4所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置具有掃描儀及接收機的轉動保持部，所述掃描儀及接收機的轉動保持部沿著與X軸正交的Y軸排列所述掃描儀及所述接收機，使所述掃描儀保持部及所述接收機保持部成一體化，使成一體化的所述掃描儀保持部及所述接收機保持部圍繞與包含X軸及Y軸的XY面正交的Z軸轉動，在任意轉動位置將所述掃描儀保持部及所述接收機保持部固定于所述框架上。

7.根據權利要求6所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置具有Y軸滑動部、框架X軸轉動保持部及Z軸滑動部，所述Y軸滑動部將所述掃描儀及接收機的轉動保持部保持成在所述Y軸方向上相對于所述框架移動自如，所述框架X軸轉動保持部使所述框架圍繞X軸轉動而在任意轉動位置固定所述框架，所述Z軸滑動部將所述框架X軸轉動保持部保持成在Z軸方向移動自如。

8.根據權利要求7所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置具有X軸滑動部，所述X軸滑動部將所述Z軸滑動部保持成在X軸方向移動自如。

9.根據權利要求1所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置具有激光指示器，對在所述流延支承體上分開的兩點進行聚光照射，決定所述激光的掃描方向。

10.根據權利要求1所述的流延支承體的表面檢查裝置，其中，

所述表面檢查裝置相對于所述掃描線在所述流延支承體的行走方向上游側具有對所述流延支承體進行除塵的除塵裝置。