[發明專利]一種半導體熔爐加熱器固定裝置

在審

• 申請號: 201310266340.4
• 申請日: 2013-06-28
• 公開（公告）號: CN104253064A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 潘琦;李占斌;王強
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H05B1/00
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

技術領域

本發明涉及半導體加熱領域，特別涉及一種半導體熔爐加熱器固定裝置。

背景技術

如圖1、圖2所示，現有技術中半導體熔爐加熱器采用12個支撐桿3’環繞設置在熔爐1’內壁上，每個支撐桿3’采用若干個支撐體31’相連而成，此種結構支撐桿容易斷裂，從而造成加熱線路2’扭曲導致短路，使得熔爐加熱器有著很高的損壞率。

發明內容

本發明的目的是提供一種半導體熔爐加熱器固定裝置，該固定裝置采用兩塊獨立的支撐體固定加熱線路，加強了支撐桿的承受強度，同時增加支撐桿數量，減小了加熱線路扭曲及觸碰的故障率。

為了實現以上目的，本發明是通過以下技術方案實現的：

一種半導體熔爐加熱器固定裝置，其設置在熔爐內部，所述的熔爐內壁沿軸向間隔安裝有若干圈加熱線路，其特點是，該裝置包含：若干支支撐桿，其分別固定設置在所述加熱線路上；

所述的支撐桿包含若干依次相連的第一支撐體及若干依次相連的第二支撐體，每個所述的第一支撐體分別對應拼接在第二支撐體上。

所述的支撐桿數量至少為16支。

本發明與現有技術相比，具有以下優點：

本發明采用兩塊獨立的支撐體固定加熱線路，加強了支撐桿的承受強度，同時增加支撐桿數量，減小了加熱線路扭曲及觸碰的故障率。

附圖說明

圖1為現有技術中熔爐加熱器固定裝置主視圖；

圖2為現有技術中熔爐加熱器固定裝置俯視圖；

圖3為本發明一種半導體熔爐加熱器固定裝置的主視圖；

圖4為本發明一種半導體熔爐加熱器固定裝置的俯視圖；

圖5為本發明一種半導體熔爐加熱器固定裝置的第一支撐體的結構圖；

圖6為本發明一種半導體熔爐加熱器固定裝置的第二支撐體的結構圖。

具體實施方式

以下結合附圖，通過詳細說明一個較佳的具體實施例，對本發明做進一步闡述。

如圖3、圖4、圖5及圖6所示，一種半導體熔爐加熱器固定裝置，其設置在熔爐1內部，所述的熔爐1內壁沿軸向間隔安裝有若干圈加熱線路2，該裝置包含：若干支支撐桿3，其分別固定設置在所述加熱線路2上；所述的支撐桿3包含若干依次相連的第一支撐體31及若干依次相連的第二支撐體32，每個所述的第一支撐體31分別對應拼接在第二支撐體32上。支撐桿3數量至少為16支（本實施例中支撐桿數量為16支）。

本發明采用第一支撐體31及第二支撐體32固定加熱線路2，同時第一支撐體31可以與第二支撐體32拼接在一起，這樣的結構增加了支撐桿的承受強度，減小支撐桿損壞的故障率，有效的防止加熱線路2扭曲及觸碰。應用實際效果表明，原有的加熱器壽命大約為20個月，該改進后的加熱器壽命能達到30個月，提高了經濟效益。

綜上所述，本發明一種半導體熔爐加熱器固定裝置，該固定裝置采用兩塊獨立的支撐體固定加熱線路，加強了支撐桿的承受強度，同時增加支撐桿數量，減小了加熱線路扭曲及觸碰的故障率。

盡管本發明的內容已經通過上述優選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發明的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內容后，對于本發明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發明的保護范圍應由所附的權利要求來限定。