[發明專利]一種用于防止晶片偏移掉落的裝置

有效

• 申請號: 201310266339.1
• 申請日: 2013-06-28
• 公開（公告）號: CN104253063B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 華良;陳超
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙)31249
• 代理人: 張靜潔,徐雯瓊

1.一種用于防止晶片偏移掉落的裝置，設置在半導體洗凈臺上，該裝置包含：刀子（1），其由馬達驅動并上、下擺動；基座（2），其通過V字機構與刀子（1）相連，該V字機構包含軸承（3）、穿設在軸承（3）中的螺栓（4）及擺動桿（8），所述的擺動桿（8）一端設置在螺栓（4）上，其另一端頂住基座（2），其特征在于，所述螺栓（4）向著刀子（1）的外部延伸一段，該裝置還包含鎖緊部件（5），其套置在螺栓（4）的延伸段處。

2.如權利要求1所述的用于防止晶片偏移掉落的裝置，其特征在于，所述的螺栓（4）的延伸段外表面設為螺紋狀。

3.如權利要求2所述的用于防止晶片偏移掉落的裝置，其特征在于，所述的鎖緊部件（5）設為螺母，其與螺栓延伸段相適配。

4.如權利要求1所述的用于防止晶片偏移掉落的裝置，其特征在于，所述的鎖緊部件（5）設為鎖緊簧。