[發明專利]一種球面面形誤差絕對檢測方法

有效

• 申請號: 201310259595.8
• 申請日: 2013-06-26
• 公開（公告）號: CN103292738A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 宋偉紅;侯溪;李世芳;趙文川;吳高峰;徐燕;毛潔;吳永前;萬勇建
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

技術領域

本發明涉及一種面形誤差的絕對檢測方法，屬于先進光學檢測領域，特別是高精度的光學鏡面絕對檢測領域。

背景技術

隨著現代光學技術的發展，光學元件的面形檢測精度要求越來越高。高精度面形干涉檢測一直是光學檢測測試領域的熱點和難點問題。球面作為光學系統中重要的元件，其檢測精度受限于參考面的面形質量，而采用絕對檢測技術可有效分離參考面和被測面的面形信息。

目前，常用的絕對檢測方法有雙球面法(K.E.Elssner，R.Burow，J.Grzanna，andR.Spolaczyk，“Absolute?sphericity?measurement，”Appl.Opt.28，4649-4661，1989；B.Truax，“Absolute?interferometric?testing?of?spherical?surfaces，”Proc.SPIE1400，61-68，1990)、奇偶函數法(Schreiner?R，Schwider?J，Lindlein?N，and?K.Mantel.“Absolute?test?of?the?reference?surface?of?a?Fizeau?interferometer?through?even/odd?decompositions”，Appl.Opt，47，6134-6141，2008)和雙通道自標定法(Jan?Burke.“Rapid?and?reliable?reference?sphere?calibration?for?Fizeau?interferometry”，Opt?Let，33，2536-2538，2008)。這些方法均包含有貓眼位置的測量，由于貓眼位置對調整誤差不敏感，容易引入像散。另外一種常用的絕對檢測方法是隨機球標定法(R.E.Parks，C.J.Evans，L.Shao.“Calibration?of?interferometer?transmission?spheres”，Optical?Fabrication?and?test?Workshop?OSA?Technical?Digest?Series，12，80-83，1998)。該方法通過對一個標定球在大量隨機位置進行相對檢測，然后進行數據平均，標定球的誤差隨著檢測次數的增加趨于零，平均結果將主要反映標準鏡頭參考面的面形誤差信息。這種方法原理簡單，但自動化檢測裝置的研制存在一定困難，檢測過程比較耗時，其無法標定發散鏡頭。