[發明專利]高壓二極管臺面鈍化前的堿處理工藝

有效

• 申請號: 201310255771.0
• 申請日: 2013-06-25
• 公開（公告）號: CN103346082A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 繆玉華;陳許平
• 申請（專利權）人: 南通皋鑫電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高壓二極管臺面鈍化前的堿處理工藝，其特征在于：工藝步驟如下：

1）將裝有引線-硅塊燒結部件的塑料模具放置在堿處理專用不銹鋼托架上；

2）在堿處理裝置第一NaOH槽、第二NaOH槽內分別配制好12±1%和4±0.5%的NaOH溶液，并加熱到（70±2）℃；

3）將裝有燒結部件的托架掛到第一NaOH槽上方的擺臂上，將托架浸入NaOH槽內，通過擺動進行腐蝕,?腐蝕時間為200s；

4）將第一NaOH槽腐蝕完成的托架迅速放到第二NaOH槽???內，通過擺動進行腐蝕,?腐蝕時間為200s；

5）?將第二NaOH槽內腐蝕完成的托架放入第一純水淋洗???槽內，純水流量（8±1）L/min，純水淋洗時間為200s；

6）將第一純水淋洗槽內淋洗完成的托架移至第一浸洗槽???內，純水流量（10±1）L/min，純水浸洗時間為200s，后???濾水；

7）將浸洗完成的托架放入檸檬酸三胺槽內浸泡處理，檸檬酸三胺水溶液濃度為8±0.5%,浸泡時間為200s；

8）將浸泡完成的托架移到第二純水淋洗槽內，純水流量??（8±1）L/min，淋洗時間為200s；

9）將淋洗完成的托架移至純水超聲清洗槽內，純水流量???為（10±1）L/min，清洗超聲清洗時間為200s；

10）將托架移至第二浸洗槽內，純水流量（10±1）L/min.?浸洗時間為200s，濾水，并用氣槍吹干托架四周的水珠；

11）將托架浸于第一丙酮槽進行脫水處理，丙酮槽內的丙???酮完全淹沒托架，脫水時間為200s；

12）將托架浸于第二丙酮槽內，丙酮槽內的丙酮完全淹沒托架，脫水時間為200s,濾干；

13）將托架放在干燥傳送帶上進行N2吹干，設定N₂流量?≥??300L/min，傳送帶速度80mm/min，干燥完畢，將托架從傳送帶上取出，將模具從托架上取下，放入N2保管柜內，?N2保管柜N₂流量≥20L/min，堿處理好的部件下一步則可進行管芯表面涂膠鈍化。