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[發明專利]氮化硅溶液及其制備方法、多晶硅鑄錠用坩堝及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201310248418.X 申請日: 2013-06-20
公開(公告)號: CN103288357A 公開(公告)日: 2013-09-11
發明(設計)人: 張小建;劉華;王悅;楊杰;魏馳遠 申請(專利權)人: 天津英利新能源有限公司
主分類號: C03C17/22 分類號: C03C17/22;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 趙青朵;李玉秋
地址: 301510 天津市濱海新區津漢公*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氮化 溶液 及其 制備 方法 多晶 鑄錠 坩堝
【權利要求書】:

1.一種氮化硅溶液的制備方法,包括:

將氮化硅粉末與去離子水混合,然后加入鹽酸,攪拌后得到氮化硅溶液。

2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述氮化硅粉末經過研磨得到,所述氮化硅粉末的平均粒徑為0.1~0.5μm。

3.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述氮化硅粉末與去離子水的質量比為1:(3~5)。

4.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述去離子水與所述鹽酸的體積比為(55~65):1,所述鹽酸的濃度為2wt%。

5.權利要求1~4任一項所制備的氮化硅溶液。

6.一種多晶硅鑄錠用坩堝的制備方法,包括:

將坩堝本體進行加熱,在加熱后的坩堝本體內壁表面噴涂權利要求5所述的氮化硅溶液,得到多晶硅鑄錠用坩堝。

7.根據權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述噴涂的溫度為70℃~80℃。

8.一種多晶硅鑄錠用坩堝,其特征在于,所述坩堝內壁表面噴涂有權利要求5所述的氮化硅溶液。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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