[發明專利]氮化硅溶液及其制備方法、多晶硅鑄錠用坩堝及其制備方法有效
| 申請號: | 201310248418.X | 申請日: | 2013-06-20 |
| 公開(公告)號: | CN103288357A | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 張小建;劉華;王悅;楊杰;魏馳遠 | 申請(專利權)人: | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分類號: | C03C17/22 | 分類號: | C03C17/22;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 趙青朵;李玉秋 |
| 地址: | 301510 天津市濱海新區津漢公*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氮化 溶液 及其 制備 方法 多晶 鑄錠 坩堝 | ||
1.一種氮化硅溶液的制備方法,包括:
將氮化硅粉末與去離子水混合,然后加入鹽酸,攪拌后得到氮化硅溶液。
2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述氮化硅粉末經過研磨得到,所述氮化硅粉末的平均粒徑為0.1~0.5μm。
3.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述氮化硅粉末與去離子水的質量比為1:(3~5)。
4.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述去離子水與所述鹽酸的體積比為(55~65):1,所述鹽酸的濃度為2wt%。
5.權利要求1~4任一項所制備的氮化硅溶液。
6.一種多晶硅鑄錠用坩堝的制備方法,包括:
將坩堝本體進行加熱,在加熱后的坩堝本體內壁表面噴涂權利要求5所述的氮化硅溶液,得到多晶硅鑄錠用坩堝。
7.根據權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述噴涂的溫度為70℃~80℃。
8.一種多晶硅鑄錠用坩堝,其特征在于,所述坩堝內壁表面噴涂有權利要求5所述的氮化硅溶液。
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