[發明專利]檢查刀具的光學傳感器組件和包括它的切割基板用的裝置

在審

• 申請號: 201310246947.6
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN104044176A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 權辰根;許京會;文水龍
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B26D7/00
• 分類號: B26D7/00;H01L21/67;G01N21/88
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 張紅霞;周艷玲

1.一種用于切割基板的裝置，包括：

用于切割所述基板的至少一個刀具；和

至少一個光學傳感器，該至少一個光學傳感器通過將光照射在所述刀具的刀刃上來檢查所述刀具是否具有缺陷。

2.如權利要求1所述的用于切割基板的裝置，其中所述光學傳感器包括光發射部分和第一光接收部分，并且

所述光發射部分沿所述第一光接收部分的方向發射光。

3.如權利要求2所述的用于切割基板的裝置，其中所述光發射部分被定位在所述刀具的一個側部處，并且

所述第一光接收部分被定位在所述刀具的面向所述一個側部的另一側部處。

4.如權利要求3所述的用于切割基板的裝置，其中所述光發射部分和所述第一光接收部分被形成為延伸如與所述刀具的刀刃的長度對應的長度那樣長，并且平行于所述刀具的刀刃設置。

5.如權利要求3所述的用于切割基板的裝置，其中所述光發射部分和所述第一光接收部分關于所述刀具對稱。

6.如權利要求2所述的用于切割基板的裝置，進一步包括控制部分，如果所述光被接收在所述第一光接收部分中，則該控制部分維修或去除所述刀具。

7.如權利要求2所述的用于切割基板的裝置，其中所述光學傳感器進一步包括第二光接收部分，并且

所述第二光接收部分被定位在所述刀具的下部。

8.如權利要求7所述的用于切割基板的裝置，其中所述第二光接收部分接收從所述刀具的刀刃反射的光。

9.如權利要求7所述的用于切割基板的裝置，進一步包括控制部分，如果所述光不被接收在所述第二光接收部分中，則該控制部分維修或去除所述刀具。

10.如權利要求1所述的用于切割基板的裝置，其中所述刀具的刀刃被形成為沿一個方向延伸，并且

所述光學傳感器在沿所述刀具的刀刃移動時對所述刀具掃描。

11.如權利要求1所述的用于切割基板的裝置，其中多個刀具被提供，

所述多個刀具的刀刃被形成為沿一個方向延伸，并且彼此平行地被設置為彼此隔開預定距離，并且

所述光學傳感器在沿所述一個方向移動時對所述多個刀具掃描。

12.如權利要求1所述的用于切割基板的裝置，進一步包括支撐所述基板的切割臺，

其中所述光學傳感器被固定安裝在所述切割臺上。

13.如權利要求1所述的用于切割基板的裝置，進一步包括連接到所述刀具以移動所述刀具的刀具保持器，

其中所述光學傳感器被固定安裝在所述刀具保持器上。

14.如權利要求13所述的用于切割基板的裝置，其中所述刀具為圓板形狀，并且

所述刀具的刀刃沿所述刀具的圓周形成。

15.一種用于切割基板的裝置，包括：

至少一個刀具，該至少一個刀具在沿垂直于所述基板的一個表面的方向移動時切割所述基板；和

至少一個光學傳感器，該至少一個光學傳感器被定位在所述刀具的移動路徑的兩個側部處，以檢查所述刀具是否具有缺陷。

16.如權利要求15所述的用于切割基板的裝置，其中所述光學傳感器包括光發射部分和光接收部分，

所述光發射部分被定位在所述刀具的所述移動路徑的一個側部處，并且

所述光接收部分被定位在所述刀具的所述移動路徑的面向所述一個側部的另一側部處。

17.如權利要求16所述的用于切割基板的裝置，其中所述光發射部分和所述光接收部分被形成為延伸如與所述刀具的刀刃的長度對應的長度那樣長。

18.如權利要求16所述的用于切割基板的裝置，其中所述光發射部分沿所述光接收部分的方向發射光，并且

所述刀具的刀刃被定位在所述光的傳播路徑上。

19.如權利要求18所述的用于切割基板的裝置，進一步包括控制部分，如果所述光被接收在所述光接收部分中，則該控制部分維修或去除所述刀具。

20.一種用于檢查刀具的光學傳感器組件，包括：

利用光照射所述刀具的刀刃的光學傳感器；和

支撐所述光學傳感器的光學傳感器保持器。