[發明專利]一種間隔片控制裝置和方法

有效

• 申請號: 201310245120.3
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN104241165B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 朱鷙;梁德志
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

技術領域

本發明涉及半導體領域，特別涉及一種間隔片控制裝置和方法。

背景技術

在半導體工藝中，對準系統是基底鍵合的配套設備，用于在鍵合進行之前將兩片基底（基片）進行對準。

在現有技術中，目前對準系統的對準方式包括：間接對準和直接對準。其中，間接對準是利用畫十字線記錄標記位置的方式進行對準；直接對準適用于可同時看到上下兩片基片的標記情況下使用。進一步的，目前對準系統的照明方式包括：可見光底部照明和近紅外光頂部照明。

在現有技術中，對準系統包括機器視覺系統和運動臺系統。其中，運動臺系統的工件臺承載基片運動，機器視覺系統的顯微物鏡拍攝基片標記，通過分光鏡、反射鏡等光路轉換，鏡筒透鏡成像到CCD相機，最后在工控機界面上顯示。特別的，顯微物鏡由光路調整運動機構帶著可以進行X、Y、Z三個自由度運動，從而實現對不同位置區域的標記進行拍攝。

當第一片基片上片后，移動物鏡和工件臺，使得第一片基片的標記中心處于CCD相機視場中心附近，然后在工控機界面上的標記中心畫十字線，此時不移動物鏡，將第一片基片上升，裝載第二片基片，移動調整工件臺，使得第二片基片的標記中心與十字線重合，從而實現兩片基片的標記對準。

在上述過程中，第一片基片和第二片基片中間需要放置間隔片，以隔開第一片基片和第二片基片，裝載兩片基片的載體為夾具。在現有技術中，在第一片基片上片后，需要手動使用夾具撥入或撥出間隔片后，才裝載第二片基片，不能實現間隔片在單向軸向力作用下實現推進、縮回兩個方向的運動。

發明內容

本發明的目的在于提供一種間隔片控制裝置和方法，以解決現有技術中不能實現間隔片在單向軸向力作用下實現推進、縮回兩個方向的運動的問題。

為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：一種間隔片控制裝置，包括：圓線旋轉彈簧、內后棘輪、內前棘輪和外棘輪；其中，

所述外棘輪有一受力面；

所述內后棘輪和內前棘輪在所述外棘輪中；

所述內前棘輪靠近所述外棘輪的受力面；

所述圓線旋轉彈簧、所述內后棘輪和所述內前棘輪依序排列。

可選的，在所述的間隔片控制裝置中，還包括：固定件，所述圓線旋轉彈簧、內后棘輪、內前棘輪和外棘輪均在所述固定件中；所述固定件與一夾具固定連接。

可選的，在所述的間隔片控制裝置中，還包括：彈簧導向限位件，所述彈簧導向限位件置于所述圓線旋轉彈簧中間。

可選的，在所述的間隔片控制裝置中，所述內后棘輪旋轉90°后能后與旋轉前結構重合。

可選的，在所述的間隔片控制裝置中，所述外棘輪上有8個沿圓均勻分布的斜槽和4個導向槽，且所述導向槽的一面和所述斜槽平行于軸的一面共面。

同時，本發明還提供一種間隔片控制方法，使用所述的間隔片控制裝置，包括：

向所述外棘輪的受力面施加一外力F，使所述內前棘輪順著所述外棘輪推動所述內后棘輪，當所述內后棘輪前進距離超過長度/距離L1時，在所述內前棘輪的切向力和所述圓線旋轉彈簧的回彈力的作用下，所述內后棘輪順著所述內前棘輪的斜面進行第一旋轉；撤消外力F，在所述圓線旋轉彈簧的回彈力的作用下，所述內后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進行第二旋轉，此時，所述間隔片控制裝置帶動間隔片推進；

向所述外棘輪的受力面再次施加一外力F，使所述內前棘輪再次順著所述外棘輪推動所述內后棘輪，當所述內后棘輪前進距離超過長度/距離L2時，在所述內前棘輪的切向力和所述圓線旋轉彈簧的回彈力的作用下，所述內后棘輪順著所述內前棘輪的斜面進行第三旋轉；再次撤消外力F，在所述圓線旋轉彈簧的回彈力的作用下，所述內后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進行第四旋轉，此時，所述間隔片控制裝置帶動間隔片縮回。

可選的，在所述的間隔片控制方法中，所述裝置還包括：固定件和彈簧導向限位件；

當所述內后棘輪前進距離大于長度/距離L1-L2時，所述內后棘輪前進使所述彈簧導向限位件前進至與所述固定件接觸，以使所述間隔片控制裝置處于極限位置。

可選的，在所述的間隔片控制方法中，

所述內后棘輪順著所述內前棘輪的斜面進行第一旋轉，以及所述內后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進行第二旋轉的步驟中，所述第一旋轉和所述第二旋轉的轉量之和是45°；

所述內后棘輪順著所述內前棘輪的斜面進行第三旋轉，以及所述內后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進行第四旋轉的步驟中，所述第三旋轉和所述第四旋轉的轉量之和是45°。