[發(fā)明專利]一種間隔片控制裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310245120.3
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN104241165B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱鷙;梁德志
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種間隔片控制裝置，其特征在于，包括：圓線旋轉(zhuǎn)彈簧、內(nèi)后棘輪、內(nèi)前棘輪和外棘輪；其中，所述外棘輪有一受力面；

所述內(nèi)后棘輪和內(nèi)前棘輪在所述外棘輪中；

所述內(nèi)前棘輪靠近所述外棘輪的受力面；

所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧、所述內(nèi)后棘輪和所述內(nèi)前棘輪依序排列；

還包括：固定件，所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧、內(nèi)后棘輪、內(nèi)前棘輪和外棘輪均在所述固定件中；所述固定件與一夾具固定連接；

還包括：彈簧導(dǎo)向限位件，所述彈簧導(dǎo)向限位件置于所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧中間；在所述內(nèi)后棘輪向前推動壓縮所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧時，所述彈簧導(dǎo)向限位件壓縮圓線旋轉(zhuǎn)彈簧直至與所述固定件接觸，進(jìn)行機械限位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔片控制裝置，其特征在于，所述內(nèi)后棘輪旋轉(zhuǎn)90°后能夠與旋轉(zhuǎn)前重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔片控制裝置，其特征在于，所述外棘輪上有8個沿圓均勻分布的斜槽和4個導(dǎo)向槽，且所述導(dǎo)向槽的一面和所述斜槽平行于軸的一面共面。

4.一種間隔片控制方法，使用如權(quán)利要求1所述的間隔片控制裝置，其特征在于，包括：

向所述外棘輪的受力面施加一外力F，使所述內(nèi)前棘輪順著所述外棘輪推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過長度/距離L1時，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)；撤消外力F，在所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)，此時，所述間隔片控制裝置帶動間隔片推進(jìn)；

向所述外棘輪的受力面再次施加一外力F，使所述內(nèi)前棘輪再次順著所述外棘輪推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過L2時，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第三旋轉(zhuǎn)；再次撤消外力F，在所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第四旋轉(zhuǎn)，此時，所述間隔片控制裝置帶動間隔片縮回；

所述裝置還包括：固定件和彈簧導(dǎo)向限位件；

當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離大于長度/距離L1-L2時，所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)使所述彈簧導(dǎo)向限位件前進(jìn)至與所述固定件接觸，以使所述間隔片控制裝置處于極限位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的間隔片控制方法，其特征在于，

所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)，以及所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述第一旋轉(zhuǎn)和所述第二旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)量之和是45°；

所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第三旋轉(zhuǎn)，以及所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第四旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述第三旋轉(zhuǎn)和所述第四旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)量之和是45°。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的間隔片控制方法，其特征在于，所述外棘輪上有導(dǎo)向槽；

向所述外棘輪的受力面施加一外力F，使所述內(nèi)前棘輪順著所述外棘輪推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過L1時，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述內(nèi)前棘輪順著所述外棘輪的導(dǎo)向槽推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過L1時，所述內(nèi)后棘輪脫離所述外棘輪的導(dǎo)向槽，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的間隔片控制方法，其特征在于，所述外棘輪上有斜槽；

撤消外力F，在所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)，最終停止在所述斜槽中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的間隔片控制方法，其特征在于，

向所述外棘輪的受力面再次施加一外力F，使所述內(nèi)前棘輪再次順著所述外棘輪推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過L2時，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第三旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述內(nèi)前棘輪再次順著所述外棘輪的導(dǎo)向槽推動所述內(nèi)后棘輪，當(dāng)所述內(nèi)后棘輪前進(jìn)距離超過L2時，所述內(nèi)后棘輪脫離所述外棘輪的導(dǎo)向槽，在所述內(nèi)前棘輪的切向力和所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪順著所述內(nèi)前棘輪的斜面進(jìn)行第三旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的間隔片控制方法，其特征在于，

再次撤消外力F，在所述圓線旋轉(zhuǎn)彈簧的回彈力的作用下，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第四旋轉(zhuǎn)的步驟中，所述內(nèi)后棘輪縮回，并順著所述外棘輪的斜面進(jìn)行第四旋轉(zhuǎn)，最終復(fù)位。