[發(fā)明專利]曝光系統(tǒng)與曝光方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310241397.9
• 申請(qǐng)日: 2013-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104238272B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高克毅;陳贊仁;高振寬;李建興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 群創(chuàng)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02F1/1333
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 董惠石

1.一種曝光系統(tǒng)，其特征在于，該曝光系統(tǒng)能夠?qū)σ唤M立面板進(jìn)行曝光，該組立面板具有一第一基板、一第二基板及一液晶層，該液晶層夾置于該第一基板與該第二基板之間，該曝光系統(tǒng)包括：

一傳輸裝置；

二移動(dòng)平臺(tái)，設(shè)置于該傳輸裝置上，并對(duì)應(yīng)承載該組立面板；以及

一光源模組，具有至少一發(fā)光元件，

該傳輸裝置移動(dòng)該二移動(dòng)平臺(tái)的至少其中之一或移動(dòng)該光源模組，該發(fā)光元件所發(fā)出的光線照射于該組立面板上。

2.如權(quán)利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，該組立面板還具有一光反應(yīng)單體材料，該第一基板及該第二基板分別具有一高分子薄膜，該光反應(yīng)單體材料混合于該液晶層或該高分子薄膜內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，該組立面板還具有一密封材料，該密封材料與該第一基板及該第二基板形成一密閉空間，該液晶層設(shè)置于該密閉空間內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，該二移動(dòng)平臺(tái)分別對(duì)應(yīng)承載一第一組立面板及一第二組立面板，在進(jìn)行該第一組立面板的曝光時(shí)，該第二組立面板進(jìn)行面板交換、對(duì)位、扎針及通電工作，在進(jìn)行該第二組立面板的曝光時(shí)，該第一組立面板進(jìn)行面板交換、對(duì)位、扎針及通電工作。

5.如權(quán)利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，該光源模組透過(guò)一固定方式、或一掃描方式、或一搖擺方式對(duì)該組立面板進(jìn)行曝光。

6.一種曝光方法，其特征在于，一組立面板與一曝光系統(tǒng)配合，該組立面板具有一第一基板、一第二基板及一液晶層，該液晶層夾置于該第一基板與該第二基板之間，該曝光系統(tǒng)包含一傳輸裝置、二移動(dòng)平臺(tái)及一光源模組，該二移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置于該傳輸裝置上，并對(duì)應(yīng)承載該組立面板，該光源模組具有至少一發(fā)光元件，該曝光方法包括：

透過(guò)該傳輸裝置移動(dòng)該二移動(dòng)平臺(tái)的至少其中之一或移動(dòng)該光源模組；以及

透過(guò)該發(fā)光元件發(fā)出光線照射于該組立面板上。

7.如權(quán)利要求6所述的曝光方法，其特征在于，該組立面板還具有一光反應(yīng)單體材料，該第一基板及該第二基板分別具有一高分子薄膜，該光反應(yīng)單體材料混合于該液晶層或該高分子薄膜內(nèi)。

8.如權(quán)利要求6所述的曝光方法，其特征在于，該組立面板還具有一密封材料，該密封材料與該第一基板及該第二基板形成一密閉空間，該液晶層設(shè)置于該密閉空間內(nèi)。

9.如權(quán)利要求6所述的曝光方法，其特征在于，該二移動(dòng)平臺(tái)分別對(duì)應(yīng)承載一第一組立面板及一第二組立面板，在進(jìn)行該第一組立面板的曝光時(shí)，該第二組立面板進(jìn)行面板交換、對(duì)位、扎針及通電工作，在進(jìn)行該第二組立面板的曝光時(shí)，該第一組立面板進(jìn)行面板交換、對(duì)位、扎針及通電工作。

10.如權(quán)利要求6所述的曝光方法，其特征在于，該光源模組透過(guò)一固定方式、或一掃描方式、或一搖擺方式對(duì)該組立面板進(jìn)行曝光。