[發(fā)明專利]夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310239207.X | 申請日: | 2013-06-17 |
| 公開(公告)號: | CN103545240B | 公開(公告)日: | 2017-09-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李相允;鄭盛祐 | 申請(專利權(quán))人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司11204 | 代理人: | 余朦,楊莘 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 夾具 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本公開大體上涉及夾具。更具體地,本公開大體上涉及在有機發(fā)光層的沉積中使用的向單元掩模施加張力的夾具。
背景技術(shù)
作為顯示圖像的顯示裝置,有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器近年來受到公眾的關(guān)注。
為了制造OLED顯示器,應(yīng)當形成具有特定圖案的電極、有機發(fā)光層等。用于形成電極和有機發(fā)光層等的方法可以應(yīng)用到使用掩模組件的沉積方法中。
更具體地說,OLED顯示器包括像素和有機發(fā)光二極管,其中像素是在襯底上顯示圖像的基本單元并且成矩陣式排列,有機發(fā)光二極管具有順序形成的陽極(第一電極)和陰極(第二電極),用于每個像素的每個發(fā)射諸如紅色、綠色、以及藍色等光的有機發(fā)光層放置在這兩者之間。
發(fā)明內(nèi)容
本公開的實施方式針對夾持被支承的單元掩模的端部并且張力被施加至該單元掩模的夾具,該夾具包括夾具主體和旋轉(zhuǎn)接觸部分,其中旋轉(zhuǎn)接觸部分由夾具主體可旋轉(zhuǎn)地支承并且直接與單元掩模的端部接觸。
夾具主體和旋轉(zhuǎn)接觸部分之一可以包括凹進的第二部分,夾具主體和旋轉(zhuǎn)接觸部分中的另一個可以包括插入該凹進的第二部分的旋轉(zhuǎn)軸。
該夾具還可以包括設(shè)置在凹進的第二部分與旋轉(zhuǎn)軸之間的軸承。
彈性恢復(fù)力可以產(chǎn)生在旋轉(zhuǎn)接觸部分與夾具主體之間。
該夾具還可以包括連接旋轉(zhuǎn)接觸部分和夾具主體并且產(chǎn)生彈性恢復(fù)力的復(fù)位彈簧。
該夾具還可以包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)接觸部分與夾具主體之間并且限制旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn)的止動裝置,當旋轉(zhuǎn)接觸部分與單元掩模的端部接觸時,該止動裝置能夠從旋轉(zhuǎn)接觸部分與夾具主體之間移動到夾具主體中。
旋轉(zhuǎn)接觸部分可以包括第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分和第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分,其中第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與單元掩模的端部的底側(cè)接觸,第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與單元掩模的端部的上側(cè)接觸。夾具主體可以包括設(shè)置在單元掩模的端部的底側(cè)中的一對第一鉗和設(shè)置在單元掩模的端部的上側(cè)中的一對第二鉗,第一鉗包括凹進的第一溝槽并且第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分位于第一溝槽中,第二鉗在第一鉗的方向上可旋轉(zhuǎn),并且第二鉗包括第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分所處的凹進的第二溝槽。
該夾具還可以包括第一止動裝置和第二止動裝置,該第一止動裝置設(shè)置在第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第一鉗之間以限制第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn),當?shù)谝蛔有D(zhuǎn)接觸部分與單元掩模的端部接觸時,第一止動裝置能夠從第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第一鉗之間移動到第一鉗中,該第二止動裝置設(shè)置在第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第二鉗之間以限制第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn),當?shù)诙有D(zhuǎn)接觸部分與單元掩模的端部接觸時,第二止動裝置能夠從第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第二鉗之間移動到第二鉗中。
第一鉗還可以包括第一凸起側(cè),該第一凸起側(cè)設(shè)置在與和單元掩模的端部接觸的第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分的第一接觸側(cè)對準的虛擬線上。第二鉗還可以包括第二凸起側(cè),第二凸起側(cè)設(shè)置在與和第二掩模的端部接觸的第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分的第二接觸側(cè)對準的虛擬線上。第一止動裝置可以包括第一止動裝置主體和第一彈簧,該第一止動裝置主體從第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第一鉗之間以彎曲的方式延伸到第一鉗中并且穿過第一凸起側(cè),第一彈簧位于第一鉗中并且在第一止動裝置主體與第一鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。第二止動裝置可以包括第二止動裝置主體和第二彈簧,該第二止動裝置主體從第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第二鉗之間以彎曲的方式延伸到第二鉗中并且穿過第二凸起側(cè),該第二彈簧設(shè)置在第二鉗中并且在第二止動裝置主體與第二鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。
第一止動裝置可以包括第三止動裝置主體和第三彈簧,該第三主體從第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第一鉗之間以彎曲的方式延伸到第一鉗中,然后以朝第一鉗的外側(cè)彎曲的方式凸起,該第三彈簧設(shè)置第一鉗中并且在第三主體與第一鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。第二止動裝置可以包括第四止動裝置主體和第四彈簧,該第四止動裝置主體從第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與第二鉗之間延伸到第二鉗中,然后以朝第二鉗的外側(cè)彎曲的方式凸起并且與第三止動裝置主體交疊,該第四彈簧設(shè)置第二鉗中并且在第四止動裝置主體與第二鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。第一鉗還可以包括在第二鉗的方向上凸起的凸起件。第二鉗還可以包括能夠由凸起件升起的重物、從重物延伸并且由第二鉗支承的杠桿軸、以及包括從杠桿軸延伸至第四止動裝置的鉤的杠桿臂。
附圖說明
圖1是使用根據(jù)示例性實施方式的夾具制造的掩模組件的立體圖;
圖2示出使用根據(jù)示例性實施方式的夾具施加有張力的單元掩模;
圖3是圖2所示的根據(jù)示例性實施方式的夾具的剖視圖;
圖4是圖3中的“A”的俯視平面圖;
圖5是根據(jù)另一示例性實施方式的夾具的剖視圖;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





