[發(fā)明專利]夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310239207.X | 申請(qǐng)日: | 2013-06-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103545240B | 公開(公告)日: | 2017-09-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李相允;鄭盛祐 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/687 | 分類號(hào): | H01L21/687;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11204 | 代理人: | 余朦,楊莘 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 夾具 | ||
1.一種夾具,所述夾具夾持被支承的單元掩模的端部并且張力施加至所述單元掩模,所述夾具包括:
夾具主體;以及
旋轉(zhuǎn)接觸部分,由所述夾具主體可旋轉(zhuǎn)地支承并且與所述單元掩模的端部直接接觸,
其中,所述旋轉(zhuǎn)接觸部分包括凹進(jìn)部分,所述夾具主體包括插入所述凹進(jìn)部分的旋轉(zhuǎn)軸,從而所述旋轉(zhuǎn)接觸部分能夠繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),其中,所述旋轉(zhuǎn)軸是不可旋轉(zhuǎn)的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具,其中插入所述凹進(jìn)部分的所述旋轉(zhuǎn)軸直接連接于所述夾具主體,并且從所述夾具主體凸起。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具,還包括設(shè)置在所述凹進(jìn)部分與所述旋轉(zhuǎn)軸之間的軸承。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具,其中在所述旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述夾具主體之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾具,還包括復(fù)位彈簧,所述復(fù)位彈簧連接所述旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述夾具主體并且產(chǎn)生所述彈性恢復(fù)力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具,還包括止動(dòng)裝置,所述止動(dòng)裝置設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述夾具主體之間并且限制所述旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn),并且當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時(shí),所述止動(dòng)裝置能夠從所述旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述夾具主體之間移動(dòng)到所述夾具主體中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具,其中:
所述旋轉(zhuǎn)接觸部分包括:
第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分,與所述單元掩模的端部的底側(cè)接觸;以及第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分,與所述單元掩模的端部的上側(cè)接觸,
所述夾具主體包括:
一對(duì)第一鉗,設(shè)置在所述單元掩模的端部的底側(cè)并包括凹進(jìn)的第一溝槽,所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分位于所述凹進(jìn)的第一溝槽中;以及
一對(duì)第二鉗,設(shè)置在所述單元掩模的端部的上側(cè)從而使得所述第二鉗在朝向所述第一鉗的方向上能夠旋轉(zhuǎn),所述第二鉗包括凹進(jìn)的第二溝槽,所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分位于所述凹進(jìn)的第二溝槽中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾具,還包括:
第一止動(dòng)裝置,設(shè)置在所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第一鉗之間以限制所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn),并且當(dāng)所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時(shí),所述第一止動(dòng)裝置能夠從所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第一鉗之間移動(dòng)到所述第一鉗中;以及
第二止動(dòng)裝置,設(shè)置在所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第二鉗之間以限制所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分的旋轉(zhuǎn),并且當(dāng)所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時(shí),所述第二止動(dòng)裝置能夠從所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第二鉗之間移動(dòng)到所述第二鉗中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾具,其中:
所述第一鉗還包括第一凸起側(cè),所述第一凸起側(cè)設(shè)置在與所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述單元掩模的端部接觸的第一接觸側(cè)對(duì)準(zhǔn)的虛擬線上,
所述第二鉗還包括第二凸起側(cè),所述第二凸起側(cè)設(shè)置在與所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述單元掩模的端部接觸的第二接觸側(cè)對(duì)準(zhǔn)的虛擬線上,
所述第一止動(dòng)裝置包括:
第一止動(dòng)裝置主體,從所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第一鉗之間以彎曲的方式延伸到所述第一鉗中并且穿過所述第一凸起側(cè);以及
第一彈簧,位于所述第一鉗中并且在所述第一止動(dòng)裝置主體與所述第一鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力,
所述第二止動(dòng)裝置包括:
第二止動(dòng)裝置主體,從所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第二鉗之間以彎曲的方式延伸到所述第二鉗中并且穿過所述第二凸起側(cè);以及
第二彈簧,設(shè)置在所述第二鉗中并在所述第二止動(dòng)裝置主體與所述第二鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾具,其中:
所述第一止動(dòng)裝置包括:
第三止動(dòng)裝置主體,從所述第一子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第一鉗之間延伸到所述第一鉗中,然后以朝向所述第一鉗的外側(cè)彎曲的方式凸起;以及
第三彈簧,設(shè)置在所述第一鉗中并在所述第三止動(dòng)裝置主體與所述第一鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力,
所述第二止動(dòng)裝置包括:
第四止動(dòng)裝置主體,從所述第二子旋轉(zhuǎn)接觸部分與所述第二鉗之間延伸到所述第二鉗中,然后以朝向所述第二鉗的外側(cè)彎曲的方式凸起并與所述第三止動(dòng)裝置主體交疊;以及
第四彈簧,設(shè)置在所述第二鉗中并在所述第四止動(dòng)裝置主體與所述第二鉗之間產(chǎn)生彈性恢復(fù)力,
第一鉗還包括在所述第二鉗的方向上凸起的凸起件,
所述第二鉗還包括能夠由所述凸起件提升的重物、從所述重物延伸并由所述第二鉗支承的杠桿軸、以及包括從所述杠桿軸延伸至所述第四止動(dòng)裝置的鉤的杠桿臂。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





