[發明專利]直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法有效
| 申請號： | 201310236946.3 | 申請日： | 2013-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN103353437A | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發明（設計）人： | 張燕輝;于廣輝;陳志鎣;王彬;張浩然 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01N21/00 | 分類號： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知識產權代理事務所 31233 | 代理人： | 黃志達 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直觀 顯示 金屬 襯底 cvd 石墨 表面 褶皺 分布 方法 | ||
1.一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，包括：
將未轉移的CVD石墨烯連同金屬襯底一起放入密閉腔體中，抽真空后通入惰性氣體，然后加熱，再通入與石墨烯反應的氣體，待反應結束后停止加熱，停止通入反應氣體，保持惰性氣體保護，最后降至室溫，置于光學鏡下觀察即可。
2.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的石墨烯為石墨烯連續膜或石墨烯單晶。
3.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的金屬襯底為銅、鎳、鉬、釕、鉑中的一種或幾種的合金。
4.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的惰性氣體為氬氣或氮氣。
5.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的加熱為加熱至20-1200℃。
6.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的與石墨烯反應的氣體為氫氣或氨氣。
7.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的反應過程中氣壓為0.0001-760000torr。
8.根據權利要求1所述的一種直觀顯示金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，其特征在于：所述的反應過程中反應時間為0.1-99999min。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所，未經中國科學院上海微系統與信息技術研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310236946.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
