[發明專利]制造有機發光顯示設備的方法和有機發光顯示設備

有效

• 申請號: 201310236690.6
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103545459B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 李東規
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 韓明星,王秀君

本申請要求于2012年7月10日在韓國知識產權局提交的第10-2012-0075143號韓國專利申請的權益，該韓國專利申請的全部內容通過引用包含于此。

技術領域

本發明實施例的多個方面涉及一種制造有機發光顯示設備的方法和一種使用該方法制造的有機發光顯示設備。

背景技術

有機發光顯示設備與其它顯示裝置相比具有更寬的視角、更好的對比度特性以及更快的響應速度，因此作為下一代顯示裝置已經備受關注。

有機發光顯示設備包括設置在布置成彼此相對的第一電極和第二電極之間的包括發射層的中間層。可以利用各種方法形成電極和中間層，方法之一是獨立沉積法。當使用沉積法制造有機發光顯示設備時，具有與將要形成的有機層的圖案相同的圖案的精細金屬掩模（FMM）被設置成緊密地接觸其上形成有有機層等的基板，并且在FMM上沉積有機層材料來形成具有期望圖案的有機層。

然而，使用這種FMM的沉積法在使用大的母玻璃制造較大的有機發光顯示設備方面存在著困難。例如，當使用這種大掩模時，掩模可能會由于自重而彎曲，從而使圖案扭曲。這樣的缺點并不有利于近來朝著高清晰圖案發展的趨勢。

另外，使基板和FMM對準以彼此緊密地接觸的工藝、對其執行沉積的工藝以及使FMM與基板分離的工藝是耗時的，導致制造時間長且生產效率低。

在該背景技術部分公開的信息對于本發明的發明人而言在實現本發明之前是已經知曉的，或者可以包括在實現本發明的過程中獲取的技術信息。因此，該信息可能包含對本領域普通技術人員而言在本國不構成已經知曉的現有技術的信息。

發明內容

根據本發明實施例的多個方面，制造有機發光顯示設備的方法適合用在大基板的批量生產中并且能夠實現高清晰度圖案化，可以利用該方法來制造有機發光顯示設備。

根據本發明的一個實施例，一種制造有機發光顯示設備的方法包括：在基板上連續地沉積線性圖案的有機層；在有機層上沉積第二電極；在第二電極上形成鈍化層以覆蓋第二電極。

在有機層上沉積第二電極的步驟可以包括針對多個面板中的每個面板，在有機層上沉積第二電極，在第二電極上形成鈍化層的步驟可以包括在第二電極上形成鈍化層以覆蓋第二電極。

在有機層上沉積第二電極的步驟可以包括在有機層上連續地沉積線性圖案的第二電極，在第二電極上形成鈍化層的步驟可以包括在第二電極上連續地形成線性圖案的鈍化層以覆蓋第二電極。

鈍化層可以包括從由三(8-羥基喹啉鋁)（Alq₃）、苯基咔唑類化合物和芴類化合物組成的組中選擇的一種或多種材料。

在形成鈍化層之后，所述方法還可以包括去除所述多個面板的相鄰的面板之間的有機層。

去除相鄰的面板之間的有機層的步驟可以包括通過使用包含氧（O₂）的等離子體的化學蝕刻來去除有機層。

在基板上連續地沉積線性圖案的有機層的步驟可以包括：提供包括沉積源、沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片的薄膜沉積設備使得薄膜沉積設備與基板分隔開，其中，沉積源包含沉積材料，沉積源噴嘴單元布置在沉積源的側面處并且包括多個沉積源噴嘴，圖案化縫隙片布置成面向沉積源噴嘴單元并且其內形成有多個圖案化縫隙；在沉積過程中使薄膜沉積設備和基板中的至少一個相對于另一個移動；從沉積源噴射沉積材料以穿過圖案化縫隙片進行沉積并在基板上形成圖案。

圖案化縫隙片可以在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上比基板小。

沉積源噴嘴可以沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元中，圖案化縫隙可以沿第一方向布置在圖案化縫隙片中，薄膜沉積設備還可以包括屏蔽板組件，屏蔽板組件沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間，并且包括將沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間的空間劃分為多個沉積空間的多個屏蔽板。

所述多個屏蔽板中的每個屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向延伸。

屏蔽板組件可以包括：第一屏蔽板組件，包括多個第一屏蔽板；第二屏蔽板組件，包括多個第二屏蔽板。

所述多個第一屏蔽板中的每個第一屏蔽板和所述多個第二屏蔽中的每個第二屏蔽板可以沿基本垂直于第一方向的第二方向形成，并且可以將沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間的空間劃分為多個沉積空間。

沉積源噴嘴可以沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元中，圖案化縫隙可以沿垂直于第一方向的第二方向布置在圖案化縫隙片中。

沉積源、沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片可以通過連接構件彼此結合而彼此一體地形成。