[發明專利]制造有機發光顯示設備的方法和有機發光顯示設備

有效

• 申請號: 201310236690.6
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103545459B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 李東規
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 韓明星,王秀君

1.一種制造有機發光顯示設備的方法，所述方法包括下述步驟：

在基板上連續地沉積線性圖案的有機層，基板包括布置在一個方向上的多個面板，線性圖案在所述多個面板的相鄰面板之間是連續的；

在有機層上沉積第二電極；

在第二電極上形成鈍化層；以及

在形成鈍化層之后，從所述相鄰面板的第一面板的外周區域以及從所述相鄰面板的第二面板的外周區域去除有機層，其中，第二面板的外周區域沿所述一個方向與第一面板的外周區域相鄰。

2.如權利要求1所述的方法，

其中，在有機層上沉積第二電極的步驟包括針對多個面板中的每個面板，在有機層上沉積第二電極，

其中，在第二電極上形成鈍化層的步驟包括在第二電極上形成鈍化層以覆蓋第二電極。

3.如權利要求1所述的方法，

其中，在有機層上沉積第二電極的步驟包括在有機層上連續地沉積線性圖案的第二電極，

其中，在第二電極上形成鈍化層的步驟包括在第二電極上連續地形成線性圖案的鈍化層以覆蓋第二電極。

4.如權利要求1所述的方法，其中，鈍化層包括從由三(8-羥基喹啉鋁)、苯基咔唑類化合物和芴類化合物組成的組中選擇的一種以上的材料。

5.如權利要求1所述的方法，其中，在基板上連續地沉積線性圖案的有機層的步驟包括：

提供包括沉積源、沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片的薄膜沉積設備使得薄膜沉積設備與基板分隔開，其中，沉積源包含沉積材料，沉積源噴嘴單元布置在沉積源的側面處并且包括多個沉積源噴嘴，圖案化縫隙片布置成面向沉積源噴嘴單元并且其內形成有多個圖案化縫隙；

在沉積過程中使薄膜沉積設備和基板中的至少一個相對于另一個移動；

從沉積源噴射沉積材料以穿過圖案化縫隙片進行沉積并在基板上形成圖案。

6.如權利要求5所述的方法，其中，圖案化縫隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上比基板小。

7.如權利要求5所述的方法，

其中，所述多個沉積源噴嘴沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元中，

其中，所述多個圖案化縫隙沿第一方向布置在圖案化縫隙片中，

其中，薄膜沉積設備還包括屏蔽板組件，屏蔽板組件沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間，并且包括將沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間的空間劃分為多個沉積空間的多個屏蔽板。

8.如權利要求7所述的方法，其中，所述多個屏蔽板中的每個屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向延伸。

9.如權利要求7所述的方法，其中，屏蔽板組件包括：第一屏蔽板組件，包括多個第一屏蔽板；第二屏蔽板組件，包括多個第二屏蔽板。

10.如權利要求9所述的方法，其中，所述多個第一屏蔽板中的每個第一屏蔽板和所述多個第二屏蔽板中的每個第二屏蔽板沿垂直于第一方向的第二方向形成，并且將沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片之間的空間劃分為多個沉積空間。

11.如權利要求5所述的方法，

其中，所述多個沉積源噴嘴沿第一方向布置在沉積源噴嘴單元中，

其中，所述多個圖案化縫隙沿垂直于第一方向的第二方向布置在圖案化縫隙片中。

12.如權利要求11所述的方法，其中，沉積源、沉積源噴嘴單元和圖案化縫隙片通過連接構件彼此結合而彼此一體地形成。

13.如權利要求12所述的方法，其中，連接構件引導沉積材料的流動路徑。

14.如權利要求12所述的方法，其中，連接構件形成為從外部密封沉積源、沉積源噴嘴單元與圖案化縫隙片之間的空間。