[發明專利]一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆無效
| 申請號: | 201310236357.5 | 申請日: | 2013-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN103337471A | 公開(公告)日: | 2013-10-02 |
| 發明(設計)人: | 王永向;向定春 | 申請(專利權)人: | 成都聚合科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 610207 四川省成都市雙流縣西南航空*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能 光伏硅 電池 真空 | ||
1.一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆,其特征是,它包括氣體進口通道管、手持部、氣體通道管和吸盤,所述手持部一端連接氣體進口通道管,另一端連接氣體通道管,氣體通道管的另一端連接吸盤;所述吸盤的外形尺寸和所吸太陽能光伏硅電池片的外形尺寸一致。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆,其特征是所述吸盤材料為防靜電、不掛塵的軟膜材料,其長寬尺寸為:103mmX103mm,125mmX125mm,150mmX150mm,156mmX156mm。
3.根據權利要求1或2所述的一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆,其特征是所述吸盤上有一個凹陷,所述凹陷和氣體通道管相通,所述凹陷和吸盤表面具有高度差,形成透氣縫隙,所述凹陷的長寬尺寸比吸盤的尺寸小3~10mm的正方形。
4.根據權利要求1所述的一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆,其特征是所述氣體通道管是吸盤和手持部中氣體的流通通道。
5.根據權利要求1所述的一種太陽能光伏硅電池片真空吸筆,其特征是所述手持部壁上有一個通氣孔。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





