[發(fā)明專利]一種多吸頭芯片固定設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310235441.5 | 申請(qǐng)日: | 2013-06-14 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103311171A | 公開(公告)日: | 2013-09-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鄒志峰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 鄒志峰 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/60 |
| 代理公司: | 深圳市千納專利代理有限公司 44218 | 代理人: | 黃良寶 |
| 地址: | 518000 廣東省深*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 吸頭 芯片 固定 設(shè)備 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及到半導(dǎo)體芯片固定設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體芯片固定設(shè)備是LED、數(shù)碼管和集成塊等半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用的半導(dǎo)體芯片固定的設(shè)備(半導(dǎo)體芯片固定在物料支架上便于半導(dǎo)體芯片金屬線焊接),也稱為固晶機(jī)。現(xiàn)有的半導(dǎo)體芯片固定設(shè)備使用1個(gè)吸頭機(jī)構(gòu)存在速度不能有很大的提高,工作效率低。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有的半導(dǎo)體芯片固定設(shè)備存在工作效率低的技術(shù)問題,而提出一種多吸頭芯片固定設(shè)備。
為解決本發(fā)明所提出的技術(shù)問題,采用的技術(shù)方案為:一種多吸頭芯片固定設(shè)備,包括有機(jī)座,機(jī)座上安裝有物料機(jī)構(gòu)、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)、氣體通路機(jī)構(gòu)、基本電路、主吸頭機(jī)構(gòu)、主頂針機(jī)構(gòu)和水平移動(dòng)的主芯片框機(jī)構(gòu);所述的主吸頭機(jī)構(gòu)包括有主吸頭、主吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和主芯片取像機(jī)構(gòu),主吸頭設(shè)于主吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,主吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和主芯片取像機(jī)構(gòu)安裝在機(jī)座上;所述的物料機(jī)構(gòu)上安裝有主物料取像機(jī)構(gòu);所述的基本電路包括有與主吸頭機(jī)構(gòu)電連接的主吸頭控制電路和與主芯片框機(jī)構(gòu)電連接的主芯片框控制電路;其特征在于:還包括有1個(gè)以上的副吸頭機(jī)構(gòu),每一個(gè)所述的副吸頭機(jī)構(gòu)包括有副吸頭、副吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和副芯片取像機(jī)構(gòu),副吸頭設(shè)于副吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,副吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和副芯片取像機(jī)構(gòu)安裝在機(jī)座上;每一個(gè)所述的副吸頭機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)有一個(gè)水平移動(dòng)的副芯片框機(jī)構(gòu);每一個(gè)所述的副吸頭機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)有一個(gè)副頂針機(jī)構(gòu),副頂針機(jī)構(gòu)獨(dú)立安裝在機(jī)座上;所述的基本電路包括有與副吸頭機(jī)構(gòu)電連接的副吸頭控制電路和與副芯片框機(jī)構(gòu)電連接的副芯片框控制電路。
所述的物料機(jī)構(gòu)設(shè)置有1個(gè)以上長(zhǎng)度為100毫米到200毫米物料放置位;主吸頭和副吸頭或者兩個(gè)副吸頭與物料放置位上的一件物料對(duì)應(yīng),主吸頭與副吸頭或者兩個(gè)副吸頭在物料放置位處的距離是物料放置位長(zhǎng)度的十分之三到十分之七。
所述的物料機(jī)構(gòu)設(shè)置有長(zhǎng)度為200毫米到800毫米的放置兩件物料的物料放置位;主吸頭和副吸頭或者兩個(gè)副吸頭分別與物料放置位上的一件物料對(duì)應(yīng)。
所述的主吸頭與副吸頭為對(duì)稱設(shè)置,所述的主吸頭與副吸頭的高度位置相差小于30毫米。
至少有一個(gè)所述的副芯片框機(jī)構(gòu)安裝在主芯片框機(jī)構(gòu)上,并且隨主芯片框機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)。
所述的副芯片框機(jī)構(gòu)包括有第一副芯片框機(jī)構(gòu)、第二副芯片框機(jī)構(gòu)和第三副芯片框機(jī)構(gòu);第一副芯片框機(jī)構(gòu)安裝在主芯片框機(jī)構(gòu)上并且隨主芯片框機(jī)構(gòu)水平移動(dòng),第二副芯片框機(jī)構(gòu)獨(dú)立安裝在機(jī)座上,第三副芯片框機(jī)構(gòu)安裝在第二副芯片框機(jī)構(gòu)上并且隨第二副芯片框機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)。
每一個(gè)所述的副吸頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括有一個(gè)副吸頭水平圓弧擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和一個(gè)副吸頭上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);副吸頭水平圓弧擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括有伺服電機(jī),伺服電機(jī)通過連接器連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸;轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過軸承連接有軸承座,轉(zhuǎn)動(dòng)軸上安裝有2個(gè)以上的直線導(dǎo)軌,直線導(dǎo)軌的滑動(dòng)塊共同連接有用于安裝副吸頭的副吸頭固定塊,副吸頭上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)副吸頭固定塊上下移動(dòng)。
所述的物料機(jī)構(gòu)包括有用于壓緊以及輸送物料的夾具,所述的夾具包括有壓爪和一個(gè)以上的拔爪,主吸頭配備有一個(gè)壓爪,每一個(gè)副吸頭均配備有一個(gè)壓爪;所述的夾具還包括有在主吸頭和副吸頭分別把芯片固定在一個(gè)對(duì)應(yīng)的物料杯后驅(qū)動(dòng)拔爪往右移動(dòng)一個(gè)物料杯使主吸頭和副吸頭分別對(duì)應(yīng)有新的一個(gè)物料杯的過片驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
所述的物料機(jī)構(gòu)還包括有主物料臺(tái)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)、副物料臺(tái)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)和進(jìn)料機(jī)構(gòu);所述的副物料臺(tái)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在主物料臺(tái)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)上并且隨主物料臺(tái)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng);所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu)包括有用于往右推動(dòng)物料的兩個(gè)以上的擋塊,每一個(gè)擋塊分別連接有一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)擋塊上下移動(dòng)的擋塊上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),擋塊上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)共同連接有用于驅(qū)動(dòng)擋塊上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及擋塊左右移動(dòng)的擋塊左右驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
所述的物料機(jī)構(gòu)上安裝有副物料取像機(jī)構(gòu);所述的點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)包括有副點(diǎn)膠機(jī)構(gòu),副點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)包括有副點(diǎn)膠機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和副點(diǎn)膠傳感機(jī)構(gòu);所述的氣體通路機(jī)構(gòu)包括有副氣體通路機(jī)構(gòu);所述的副芯片框機(jī)構(gòu)包括有副芯片框傳感機(jī)構(gòu);所述的副吸頭機(jī)構(gòu)包括有副吸頭傳感機(jī)構(gòu);所述的副頂針機(jī)構(gòu)包括有副頂針驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和副頂針傳感機(jī)構(gòu);所述的主芯片取像機(jī)構(gòu)包括有主攝像機(jī)和給主攝像機(jī)提供光源的主燈光機(jī)構(gòu);所述的副芯片取像機(jī)構(gòu)包括有副攝像機(jī)和給副攝像機(jī)提供光源的副燈光機(jī)構(gòu);主攝像機(jī)與副攝像機(jī)為平行設(shè)置。
本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明在現(xiàn)有芯片固定設(shè)備的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn),增設(shè)1個(gè)以上的副吸頭機(jī)構(gòu)及配套部件,有效了提高了工作效率,相對(duì)于增加整機(jī)數(shù)量節(jié)省了生產(chǎn)成本,最大限度地實(shí)現(xiàn)資源共享。
附圖說明
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- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動(dòng)設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點(diǎn)設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)





