[發明專利]夾持裝置及工件輸送機械手

在審

• 申請號: 201310228855.5
• 申請日: 2013-06-08
• 公開（公告）號: CN103779260A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 占部雄士;三重野靖理
• 申請（專利權）人: 昕芙旎雅有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及在輸送需要高精度的定位的工件時保持該工件的夾持裝置及具有該夾持裝置的工件輸送機械手。

背景技術

以往，為了輸送半導體晶圓、玻璃基板等工件，使用有將上述工件保持在手部上來進行輸送的工件輸送機械手。

在對這樣的工件實施精密加工的情況下，對于工件輸送機械手，需要其以較高的位置精度將工件向下一道工序傳送。因此，對于工件輸送機械手，要求其以高精度地進行了對位的狀態將載置于手部上的工件保持在手部上并進行輸送，并以保持了該位置精度的狀態將該工件向下一個裝置傳送。

為了使手部具有如上所述的功能，在手部設有用于精密地保持工件的夾持裝置。作為該夾持裝置，例如具有下述專利文獻1所述的基板保持裝置。該基板保持裝置設為如下結構：在手部（手）的頂端和基端側各設有一對固定夾具，并且在基端側的固定夾具之間設有可動夾具。另外，在上述固定夾具和可動夾具上均形成有朝向工件（晶圓）的中心方向并向下方傾斜的朝上傾斜面。而且，通過在將工件載置于固定夾具上之后使可動夾具從工件的外側朝向中心方向移動，能夠在利用可動夾具與頂端側的固定夾具精密地對工件進行對位的同時對工件進行保持。

專利文獻1：日本特許第4600856號公報

但是，由于上述專利文獻1所述的夾持裝置（基板保持裝置）在保持工件時利用頂端側的固定夾具與基端側的可動夾具進行定位，因此可能形成工件從基端側的固定夾具離開的狀態。因此，在使可動夾具退避而解除工件的保持狀態時，工件的基端側從被可動夾具支承的狀態向被固定夾具支承的狀態轉換，因此伴隨著這種情況而存在工件的位置發生偏移的可能性。

在此，為了具體地說明上述的問題，在圖11和圖12中示意性地表示具有與專利文獻1相同的結構的以往的夾持裝置901。

該夾持裝置901在工件保持臺31的頂端31b側設有一對固定塊（相當于固定夾具）941（在圖中記載為省略一個），并在工件保持臺31的基端31a側設有一對固定塊（相當于固定夾具）951（在圖中記載為省略一個），在上述固定塊941上設有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面941a，在上述固定塊951上設有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面951a。另外，在頂端側31b側的固定塊941上形成有突出部941b，該突出部941b與朝上傾斜面941a相連接并向上方延伸，該突出部941b的內側的側面941c能夠與工件W的側面相抵接。

另外，在設置于基端31a側的一對固定塊951之間設有可動塊（相當于可動夾具）961，且在該可動塊961的頂端形成有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面961a。另外，在該可動塊961上也形成有垂直面961c，該垂直面961c與傾斜面961a相連接并向上方延伸。

在使用如此構成的夾持裝置保持工件W時，首先，如圖11的（a）所示，以工件W的側面、具體地說為形成該側面的一部分的下方側的邊緣抵接于固定塊941的朝上傾斜面941a以及固定塊951的朝上傾斜面951a的方式進行載置，然后，通過如圖11的（b）→（c）那樣使可動塊961向工件W的中心方向移動而使工件W移動，在使工件W的側面與頂端側的固定塊941的側面941c相抵接的同時對該工件W進行定位，并且保持工件W。

此時，相反的一側、即圖中左側的邊緣被可動塊961的朝上傾斜面961a或垂直面961c支承而從基端31a側的固定塊951的朝上傾斜面951a離開。

如此，在以保持有工件W的狀態進行輸送之后于預定的位置解除保持狀態的情況下，如圖12的（d）→（e）那樣，使可動塊961向與工件W相反的方向動作而進行退避。此時，工件W失去可動塊961的朝上傾斜面961a的支承，再次被基端31a側的固定塊951的朝上傾斜面951a支承。此時，存在工件W的位置與工件W在被保持時離開的距離相應地偏離的可能性，如圖中所示，也假設了工件W傾斜的情況、整體向下方移位的情況。

另外，根據圖11的（c）可知，由于在該結構中，在保持工件W時僅從側方或下方進行支承來釋放上方，因此在產生了上下方向的振動的情況下，也存在工件W向上方抬起而無法被保持的可能性。即，可以說工件W針對振動的保持力較小。

發明內容

本發明的目的在于有效地解決上述這樣的課題，具體地說，其目的在于提供一種夾持裝置及具有該夾持裝置的工件輸送機械手，該夾持裝置能夠以較高的位置精度保持工件，并且能夠在維持該位置精度的狀態下直接解除保持狀態，還對振動具有較強的保持力。

本發明為了達成該目的，采用了如下所述的方法。