[發(fā)明專利]夾持裝置及工件輸送機械手在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310228855.5 | 申請日: | 2013-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN103779260A | 公開(公告)日: | 2014-05-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 占部雄士;三重野靖理 | 申請(專利權(quán))人: | 昕芙旎雅有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 夾持 裝置 工件 輸送 機械手 | ||
1.一種夾持裝置,其能夠在工件保持臺上保持工件及解除該保持狀態(tài),其特征在于,
在上述工件保持臺上包括:頂端側(cè)固定塊,其設(shè)于該工件保持臺的頂端側(cè);基端側(cè)固定塊,其以隔著工件的方式設(shè)于與上述頂端側(cè)固定塊相對的基端側(cè);以及可動塊,其配置于靠近該基端側(cè)固定塊的位置處,且被設(shè)為能夠隔著工件相對于上述頂端側(cè)固定塊側(cè)進退;
上述各固定塊形成有朝向工件的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面,
上述可動塊形成有朝向工件的中心方向并向上方傾斜的向下可動傾斜面,
當在工件保持臺上對工件進行保持時,在使工件以橫跨上述各固定塊的向上固定傾斜面的方式載置于上述各固定塊的向上固定傾斜面的狀態(tài)下,以向下可動傾斜面與工件的側(cè)面相抵接的方式使上述可動塊進出,
當在工件保持臺上解除工件的保持狀態(tài)時,使上述可動塊向與工件相反的方向退避。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置,其特征在于,
使上述可動塊的中心在預(yù)定的動作直線上移動,
在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述頂端側(cè)固定塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持裝置,其特征在于,
在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述基端側(cè)固定塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的夾持裝置,其特征在于,
上述頂端側(cè)固定塊具有突出部,該突出部連接于向上固定傾斜面的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的夾持裝置,其特征在于,
上述工件形成為以上述側(cè)面為外周面的圓板狀。
6.一種工件輸送機械手,其特征在于,
該工件輸送機械手在手部具有權(quán)利要求1~5中任一項所述的夾持裝置。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





