[發明專利]一種真空鍍膜設備的門體結構有效
| 申請號: | 201310226359.6 | 申請日: | 2013-06-07 |
| 公開(公告)號: | CN103276353B | 公開(公告)日: | 2019-02-05 |
| 發明(設計)人: | 董小虹;張中弦;梁航;黃拿燦 | 申請(專利權)人: | 廣東世創金屬科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/00 | 分類號: | C23C14/00;C23C14/52;C23C14/54 |
| 代理公司: | 廣州廣信知識產權代理有限公司 44261 | 代理人: | 張文雄 |
| 地址: | 528313 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 真空鍍膜 設備 新型 結構 | ||
【權利要求書】:
2.根據權利要求1所述一種鍍膜設備的門體結構,其特征在于,在觀察窗(5)上設有紅外測溫裝置(6),以記錄真空室內溫度及工件的鍍膜狀況。
3.根據權利要求1或2所述一種鍍膜設備的門體結構,其特征在于,在真空室門蓋(3)的內側面中設有線槽盒裝置,使鍍膜設備真空室外的布線整齊、簡潔。
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