[發明專利]一種半導體測試探針清洗裝置及方法

有效

• 申請號: 201310225946.3
• 申請日: 2013-06-07
• 公開（公告）號: CN103316865A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 楊波;楊應俊;韋日文;劉振輝;沈杰;梁貴;王業文;柯權珍;高小偉
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

技術領域

本發明涉及半導體測試領域，具體涉及一種半導體測試探針清洗裝置及方法。

背景技術

半導體測試設備上的折彎探針測試到十五萬次左右時，產生的靜電逐漸增大，折彎探針上會粘吸晶圓片等雜物或碎片，并產生電弧，這些都會使折彎探針導電的性能、使用壽命大大降低。目前大部分折彎探針采用了用氣吹、磨針、插針或毛刷等方式來清除折彎探針上粘貼的雜物，但是這種清潔方式并不能較好清除折彎探針上的雜物。

目前，對于直的測試探針，也有利用超聲波發生器通過換能器對圓柱型的清潔液體池發射超聲波，以對直測試探針進行清洗。但是目前并沒有用液體池對折彎探針和不帶彈性的直型探針進行清洗的現有技術。

發明內容

如圖1所示，折彎的半導體測試探針21固定在固定裝置212上，折彎探針21的折彎部211伸出固定裝置212，若采用圖1所示的直壁的液體容器3，即使當液體容器1位于折彎探針21的正下方時，由于固定裝置212頂在液體容器3的側壁上，折彎探針21也很難伸入液體容器3內與清潔液體接觸。因此，現有技術中并不存在

為了克服現有技術的不足，本發明提供了一種半導體測試探針清洗裝置及方法，以使折彎的半導體測試探針能夠利用裝在液體容器中的清潔液進行清洗。

一種半導體測試探針清洗裝置，包括第一液體容器，所述第一液體容器具有第一容器開口和第一容器底部，從所述第一容器底部至第一容器開口所述第一液體容器的橫截面逐漸收窄。

從而，半導體測試探針的固定裝置較難與第一液體容器的側壁相碰，而折彎的半導體測試探針更容易伸入第一液體容器中與其中的液體接觸，并且在超聲波換能器的作用下，第一液體容器內的液體也較不容易溢出。

在較佳實施例中，還包括第二液體容器，所述第二液體容器具有第二容器開口，所述第一容器底部設置在第二容器開口內，所述第一容器開口高出第二容器開口。

從而，即使有液體從第一液體容器內溢出，也會流入第二液體容器內，從而不會給其他機構造成短路等危害。

在較佳實施例中，還包括第一液體管和第二液體管，所述第一液體管與所述第一液體容器的腔體連通，所述第二液體管與所述第二液體容器的腔體連通。

在較佳實施例中，所述第二液體管連接在所述第二液體容器的底部。

在較佳實施例中，還包括升降機構，所述第一液體容器固定在所述升降機構上。這樣，當半導體測試探針需要清洗時，升降機構上升對其進行清洗，而完成清洗后，升降機構下降，讓半導體測試探針繼續進行探測半導體的工作。

在較佳實施例中，還包括升降機構，所述第二液體容器固定在所述升降機構上，所述第一液體管和第二液體管都是軟管。

在較佳實施例中，還包括用于對第一液體容器內的液體發射超聲波的超聲波換能器。

本發明還公開了一種半導體測試探針清洗方法，采用所述的半導體測試探針清洗裝置，半導體測試探針包括第一半導體測試探針和第二半導體測試探針，所述第一半導體測試探針與第二半導體測試探針之間存在電壓差，所述半導體測試探針清洗方法包括如下步驟：

升降機構上升步驟：升降機構驅動所述第一液體容器朝半導體測試探針方向上升至設定高度；

注入液體步驟：液體泵向第一液體容器內注入液體；

檢測半導體測試探針電流步驟：在所述升降機構上升步驟后，檢測包括第一半導體測試探針和第二半導體測試探針的電路回路中是否存在電流，若不存在電流則繼續執行升注入液體步驟。

在較佳實施例中，半導體測試探針清洗裝置還包括第二液體容器、第一液體管、第二液體管和液體泵，所述第二液體容器具有第二容器開口，所述第一容器底部設置在第二容器開口內，所述第一容器開口高出第二容器開口，所述第一液體管與所述第一液體容器的腔體連通，所述第二液體管與所述第二液體容器的腔體連通；

在進行升降機構上升步驟前，所述液體泵通過所述第一液體管向第一液體容器泵入設定體積的液體。

在較佳實施例中，當所述半導體測試探針完成清洗后，所述液體泵通過第一液體管將液體從第一液體容器中泵離。

由于采用了上述形狀的第一液體容器，折彎型的半導體測試探針更容易伸入第一液體容器中完成清洗；另外，采用的第二液體容器可以收集從第一液體容器中外溢的液體，防止其對其他機構造成損害；清洗的液體不僅可以清洗半導體測試探針，而且可以判斷第一液體容器內的液體是否達到設定量。

附圖說明

圖1是現有的液體容器與折彎型的半導體測試探針組裝示意圖；