[發明專利]一種半導體測試探針清洗裝置及方法

有效

• 申請號: 201310225946.3
• 申請日: 2013-06-07
• 公開（公告）號: CN103316865A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 楊波;楊應俊;韋日文;劉振輝;沈杰;梁貴;王業文;柯權珍;高小偉
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種半導體測試探針清洗裝置，包括第一液體容器，其特征是：所述第一液體容器具有第一容器開口和第一容器底部，從所述第一容器底部至第一容器開口所述第一液體容器的橫截面逐漸收窄。

2.如權利要求1所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：還包括第二液體容器，所述第二液體容器具有第二容器開口，所述第一容器底部設置在第二容器開口內，所述第一容器開口高出第二容器開口。

3.如權利要求2所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：還包括第一液體管和第二液體管，所述第一液體管與所述第一液體容器的腔體連通，所述第二液體管與所述第二液體容器的腔體連通。

4.如權利要求3所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：所述第二液體管連接在所述第二液體容器的底部。

5.如權利要求1所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：還包括升降機構，所述第一液體容器固定在所述升降機構上。

6.如權利要求3所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：還包括升降機構，所述第二液體容器固定在所述升降機構上，所述第一液體管和第二液體管都是軟管。

7.如權利要求1至6任一所述的半導體測試探針清洗裝置，其特征是：還包括用于對第一液體容器內的液體發射超聲波的超聲波換能器。

8.一種半導體測試探針清洗方法，其特征是，采用如權利要求5所述的半導體測試探針清洗裝置，半導體測試探針包括第一半導體測試探針和第二半導體測試探針，所述第一半導體測試探針與第二半導體測試探針之間存在電壓差，所述半導體測試探針清洗方法包括如下步驟：

升降機構上升步驟：升降機構驅動所述第一液體容器朝半導體測試探針方向上升至設定高度；

注入液體步驟：液體泵向第一液體容器內注入液體；

檢測半導體測試探針電流步驟：在所述升降機構上升步驟后，檢測包括第一半導體測試探針和第二半導體測試探針的電路回路中是否存在電流，若不存在電流則繼續執行升注入液體步驟。

9.如權利要求8所述的半導體測試探針清洗方法，其特征是：

半導體測試探針清洗裝置還包括第二液體容器、第一液體管、第二液體管和液體泵，所述第二液體容器具有第二容器開口，所述第一容器底部設置在第二容器開口內，所述第一容器開口高出第二容器開口，所述第一液體管與所述第一液體容器的腔體連通，所述第二液體管與所述第二液體容器的腔體連通。

10.如權利要求9所述的半導體測試探針清洗方法，其特征是：

當所述半導體測試探針完成清洗后，所述液體泵通過第一液體管將液體從第一液體容器中泵離。