[發(fā)明專利]晶圓承載裝置及晶圓倒片的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310221363.3
• 申請(qǐng)日: 2013-06-04
• 公開（公告）號(hào): CN103280420A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧海龍;裴雷洪;嚴(yán)駿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種晶圓承載裝置，該晶圓承載裝置包括裝載盒體，其特征在于，所述晶圓承載裝置還包括小車吊升模塊和識(shí)別定位模塊；

所述裝載盒體的上表面和下表面均固定設(shè)置有一卡槽；

所述小車吊升模塊的上表面固定設(shè)置有吊升結(jié)構(gòu)，所述識(shí)別定位模塊的下表面固定設(shè)置有識(shí)別定位孔，且所述小車吊升模塊的下表面和所述識(shí)別定位模塊的上表面均固定設(shè)置有一卡接頭；

其中，所述卡接頭與所述卡槽一一對(duì)應(yīng)匹配，以將所述小車吊升模塊和所述識(shí)別定位模塊分別固定在所述裝載盒體的上表面和下表面。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓承載裝置，其特征在于，所述裝載盒體還包括裝載盒蓋板，所述裝載盒蓋板上設(shè)置有多組承載卡槽。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓承載裝置，其特征在于，每組所述承載卡槽均包括第一承載卡夾、第二承載卡夾、第三承載卡夾和第四承載卡夾；

其中，所述第一承載卡夾和所述第三承載卡夾為連動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述第二承載卡夾和所述第四承載卡夾亦為連動(dòng)結(jié)構(gòu)。

4.一種晶圓倒片的方法，其特征在于，所述方法包括：

于一晶圓承載裝置的裝載盒體上設(shè)置可拆卸的小車吊升模塊和識(shí)別定位模塊；

裝載晶圓至所述裝載盒體中；

于工藝生產(chǎn)中需要對(duì)所述晶圓進(jìn)行倒片時(shí)，對(duì)所述小車吊升模塊與識(shí)別定位模塊進(jìn)行位置互換操作，并將所述裝載盒體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，以將所述晶圓倒片；

通過(guò)吊升所述小車吊升模塊將所述晶圓承載裝置傳送至對(duì)應(yīng)工藝機(jī)臺(tái)的上方，并利用所述識(shí)別定位模塊將所述晶圓承載裝置裝載至該工藝機(jī)臺(tái)上。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，所述小車吊升模塊的上表面固定設(shè)置有吊升結(jié)構(gòu)，所述識(shí)別定位模塊的下表面固定設(shè)置有識(shí)別定位孔，且所述小車吊升模塊的下表面和所述識(shí)別定位模塊的上表面均固定設(shè)置有一卡接頭。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，所述裝載盒體的上表面和下表面均固定設(shè)置有一卡槽，所述卡接頭與所述卡槽一一對(duì)應(yīng)匹配，以將所述小車吊升模塊和所述識(shí)別定位模塊分別固定在所述裝載盒體的上表面和下表面。

7.如權(quán)利要求5所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，吊升所述吊升結(jié)構(gòu)，以吊升所述小車吊升模塊，從而將所述晶圓承載裝置傳送至對(duì)應(yīng)工藝機(jī)臺(tái)的上方。

8.如權(quán)利要求5所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，通過(guò)所述識(shí)別定位孔與所述工藝機(jī)臺(tái)上的裝卸載模塊上的定位孔進(jìn)行對(duì)位操作，從而使所述識(shí)別定位模塊將所述晶圓承載裝置裝載至該工藝機(jī)臺(tái)上。

9.如權(quán)利要求5所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，對(duì)所述小車吊升模塊與識(shí)別定位模塊進(jìn)行位置互換操作的步驟包括：

從位于所述裝載盒體的上表面上的卡槽中拆卸所述小車吊升模塊，從位于所述裝載盒體的下表面上的卡槽中拆卸所述識(shí)別定位模塊；

將所述小車吊升模塊通過(guò)所述卡接頭卡接至位于所述裝載盒體的下表面上的卡槽中，將所述識(shí)別定位模塊通過(guò)所述卡接頭卡接至位于所述裝載盒體的上表面上的卡槽中，以完成所述位置互換操作。

10.如權(quán)利要求4所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，所述裝載盒體還包括裝載盒蓋板，所述裝載盒蓋板上設(shè)置有多組承載卡槽。

11.如權(quán)利要求10所述的晶圓倒片的方法，其特征在于，所述每組所述承載卡槽均包括第一承載卡夾、第二承載卡夾、第三承載卡夾和第四承載卡夾；

其中，所述第一承載卡夾和所述第三承載卡夾為連動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述第二承載卡夾和所述第四承載卡夾亦為連動(dòng)結(jié)構(gòu)。