[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電氧化膜玻璃生產(chǎn)方法及鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310218725.3
• 申請(qǐng)日: 2013-06-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103508679A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵景楚;候英蘭;楊斌;蘭明雄;徐海濱;沈阮順;吳劍波;江亞聰;周炳元;鄭崇;龍立華;易策明;譚桂平;凌爽;漆永紅;沈輝松;張建輝;陳凌涵;許繡山;潘國(guó)委
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 漳州旗濱玻璃有限公司;河源旗濱硅業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): C03C17/23
• 分類號(hào): C03C17/23
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 35204
• 代理人: 李雁翔

1.一種透明導(dǎo)電氧化膜玻璃的生產(chǎn)方法，其特征在于：包括如下步驟，在下述步驟中，浮法玻璃層處于錫槽中并被拉引的狀態(tài)：

（1）將有機(jī)錫化合物、有機(jī)硅化合物、有機(jī)磷化合物、惰性氣體及氧氣送入蒸發(fā)器形成第一阻擋層氣相化合物，將該第一阻擋層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在680-700℃的浮法玻璃層上形成第一阻擋層，即SnSiOx層，溫度降至660-680℃；

（2）將有機(jī)硅化合物、有機(jī)磷化合物、惰性氣體、氧氣及水送入蒸發(fā)器形成第二阻擋層氣相化合物，將該第二阻擋層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在步驟（1）所得的660-680℃的第一阻擋層上形成第二阻擋層，即SiO₂層，溫度降至640-670℃；

（3）將有機(jī)錫化合物、三氟乙酸、氧氣、水、惰性氣體及甲醇送入蒸發(fā)器形成功能層氣相化合物，將該功能層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在步驟（2）所得的640-670℃的第二阻擋層上形成功能層，即SnO₂:F層，退火后即得所述透明導(dǎo)電氧化膜玻璃。

2.如權(quán)利要求1所述的一種透明導(dǎo)電氧化膜玻璃的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述步驟（1）具體為：將三氯單丁基錫、正硅酸四乙酯、亞磷酸三乙酯、氮?dú)饧把鯕庖?-6:5-8:0.4-0.9:5-15:10-25的重量份送入蒸發(fā)器形成第一阻擋層氣相化合物，將該第一阻擋層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在680-700℃的浮法玻璃層上形成厚度為60-90nm的第一阻擋層，即SnSiO_x層，溫度降至660-680℃。

3.如權(quán)利要求2所述的一種透明導(dǎo)電氧化膜玻璃的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述步驟（2）具體為：正硅酸四乙酯、亞磷酸三乙酯、氮?dú)狻⒀鯕饧叭ルx子水2-5:1.5-2:7-20:5-15:0.5-0.8的重量份送入蒸發(fā)器形成第二阻擋層氣相化合物，將該第二阻擋層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在步驟（1）所得的660-680℃的第一阻擋層上形成厚度為25-30nm的第二阻擋層，即SiO2層，溫度降至640-670℃。

4.如權(quán)利要求3所述的一種透明導(dǎo)電氧化膜玻璃的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述步驟（3）具體為：將三氯單丁基錫、三氟乙酸、氧氣、去離子水、氮?dú)饧凹状家?0-40:2-4:15-20:10-20：15-25:2-10的重量份送入蒸發(fā)器形成功能層氣相化合物，將該功能層氣相化合物通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在步驟（2）所得的640-670℃的第二阻擋層上形成500-700nm的功能層，即SnO₂:F層，退火后即得表面粗糙度Rq=40-47/nm、霧度為12-15%的所述透明導(dǎo)電氧化膜玻璃。

5.一種在線透明導(dǎo)電氧化膜玻璃鍍膜裝置，其特征在于：包括安裝于錫槽腔內(nèi)的多槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器和單槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器，多槽鍍膜反應(yīng)器和單槽鍍膜反應(yīng)器沿玻璃基板的前進(jìn)方向進(jìn)行排列安裝，實(shí)現(xiàn)用化學(xué)氣相沉積法制備三層薄膜層的復(fù)合結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求5所述的在線透明導(dǎo)電氧化膜玻璃鍍膜裝置，其特征在于：所述多槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器為兩臺(tái)，所述單槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器為一臺(tái)，所述單槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器安裝于兩多槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器之間。

7.如權(quán)利要求5或6所述的在線透明導(dǎo)電氧化膜玻璃鍍膜裝置，其特征在于：所述多槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器包括懸掛安裝的第一鍍膜器機(jī)體、第一鍍膜器機(jī)體底面形成的第一不銹鋼板、多個(gè)進(jìn)氣槽、多個(gè)排氣槽、進(jìn)氣連接管和排氣抽氣管；該多個(gè)進(jìn)氣槽和多個(gè)排氣槽彼此相隔并交替排列，且各個(gè)進(jìn)氣槽和各個(gè)排氣槽的底端分別貫穿第一不銹鋼板，各個(gè)進(jìn)氣槽的頂端分別與進(jìn)氣連接管相連通，各個(gè)排氣槽的頂端分別與排氣抽氣管相連通。

8.如權(quán)利要求5或6所述的在線透明導(dǎo)電氧化膜玻璃鍍膜裝置，其特征在于：所述單槽鍍膜機(jī)反應(yīng)器包括懸掛安裝的第二鍍膜器機(jī)體、第二鍍膜器機(jī)體底面形成的第二不銹鋼板、一進(jìn)氣單元和兩排氣單元，進(jìn)氣單元位于兩排氣單元之間；進(jìn)氣單元包括同時(shí)貫穿第二不銹鋼板和第二鍍膜器機(jī)體且上小下大的9～17個(gè)錐形進(jìn)氣管道和位于該進(jìn)氣管道頂部的進(jìn)氣裝置，各個(gè)進(jìn)氣管道上分別設(shè)有螺旋狀槽道；各個(gè)排氣單元分別包括同時(shí)貫穿第二不銹鋼板和第二鍍膜器機(jī)體且上小下大的5～7個(gè)錐形排氣管道和位于該排氣管道頂部的排氣裝置，各個(gè)排氣管道上分別設(shè)有螺旋狀槽道。