[發(fā)明專利]基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310214495.3
• 申請(qǐng)日: 2013-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN103456662A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸緡圭;林宗燮;李鍾哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞威科股份有限公司;李鍾哲
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/78;G02F1/1333
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;張洋

相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考

本申請(qǐng)案主張2012年6月1日提交的第10-2012-0059171號(hào)韓國專利申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)以及由此產(chǎn)生的所有權(quán)益，所述在先申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法，尤其涉及一種容易地將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。

背景技術(shù)

一般而言，用于平板顯示器的面板是使用通用脆性基板制造的。這些面板分為兩類：由一層基板組成的單基板以及由兩層基板組成的接合基板（junction?substrate）。

由于接合基板被加工成各種尺寸，例如用于便攜式終端中的液晶顯示器的小型面板以及用于電視或顯示器的大型面板，因此可以通過將大型母基板分離成小型單元基板來將接合基板用作相應(yīng)的面板。

將大型母基板分離成多個(gè)單元基板的方法包括：在母基板上形成多個(gè)劃線（scribe?line）的過程；按壓母基板以在所述劃線中產(chǎn)生裂縫的過程；以及將母基板分離成單元基板的過程。

此時(shí)，需要提供一種用于將母基板分離成單元基板的獨(dú)立基板分離裝置，在所述母基板中沿著劃線產(chǎn)生裂縫。通用基板分離裝置包括支撐住母基板的一對(duì)吸附襯墊、支撐住該對(duì)吸附襯墊的支撐塊，以及連接到支撐塊以提升該對(duì)吸附襯墊的氣缸。

下文將簡(jiǎn)要描述通過使用基板分離裝置來將母基板分離成多個(gè)單元基板的方法。

首先，使用氣缸來使該對(duì)吸附襯墊下降，以將母基板支撐在該對(duì)吸附襯墊上。此時(shí)，該對(duì)吸附襯墊支撐住位于多個(gè)劃線中彼此相鄰的兩個(gè)劃線之間的區(qū)域。隨后，使用氣缸來使該對(duì)吸附襯墊同時(shí)上升，以對(duì)通過該對(duì)吸附襯墊而上升的區(qū)域進(jìn)行分離。此時(shí)，上升的區(qū)域可以稱為單元基板。

根據(jù)相關(guān)技術(shù)，由于該對(duì)吸附襯墊同時(shí)上升到相同高度，因此該對(duì)吸附襯墊在垂直于母基板上表面的方向上直接上升。因此，將被分離出的單元基板的兩端中的每一端與母基板之間的區(qū)域受到的沖擊可能較大。結(jié)果，分離出的單元基板，或者是母基板中與單元基板相鄰的區(qū)域，可能被損壞（例如，被拉出）。損壞的單元基板不能用于面板。因此，故障率可能增大，面板生產(chǎn)率會(huì)降低。

通過在母基板上執(zhí)行破裂過程，使用傳力手（transfer?hand）直接提升該母基板而將母基板切成液晶面板的方法，揭示于韓國專利授權(quán)注冊(cè)號(hào)10-0960468中。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

韓國專利授權(quán)注冊(cè)號(hào)10-0960468

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種容易地將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。

本發(fā)明還提供了一種當(dāng)母基板被分離成多個(gè)單元基板時(shí)使母基板或單元基板的損壞最小化的基板分離裝置以及使用該裝置的基板分離方法。

根據(jù)一示例性實(shí)施例，用于將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離裝置包括：多個(gè)可提升的分離部件，所述多個(gè)可提升的分離部件設(shè)置在母基板上方并且布置在一個(gè)方向上，所述多個(gè)可提升的分離部件經(jīng)配置以支撐住母基板中的至少一個(gè)區(qū)域；以及驅(qū)動(dòng)單元，所述驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以在不同的時(shí)刻分別地提升所述多個(gè)分離部件。

所述分離部件中的每一者可以包括吸附襯墊。

所述驅(qū)動(dòng)單元可以包括分別連接到所述多個(gè)分離部件的多個(gè)驅(qū)動(dòng)部分。

所述驅(qū)動(dòng)部分中的每一者可以包括：動(dòng)力源，所述動(dòng)力源提供提升動(dòng)力；提升部件，所述提升部件支撐住所述分離部件中的每一者；以及驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端連接到所述動(dòng)力源且其另一端連接到所述提升部件，其中所述動(dòng)力源可以包括伺服馬達(dá)。

所述基板分離裝置還可以包括延伸向母基板的可提升輔助部件。

可以提供多個(gè)所述輔助部件，并且所述多個(gè)輔助部件可以分別設(shè)置在所述多個(gè)分離部件之外。

所述輔助部件中的每一者可以向所述分離部件彎曲。

所述基板分離裝置還可以包括經(jīng)配置以提升所述輔助部件中的每一者的輔助驅(qū)動(dòng)單元。

根據(jù)另一示例性實(shí)施例，通過使用支撐住母基板中至少一個(gè)區(qū)域的多個(gè)分離部件來將母基板分離成多個(gè)單元基板的基板分離方法包含：移動(dòng)所述多個(gè)分離部件以將所述多個(gè)分離部件定位在所述母基板中將被分離的區(qū)域上方；使所述多個(gè)分離部件下降從而將所述母基板支撐在所述多個(gè)分離部件上；以及在所述多個(gè)分離部件支撐住所述母基板的狀態(tài)下，在不同的時(shí)刻使所述多個(gè)分離部件分別地上升。