[發(fā)明專利]研磨液整理器無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310211072.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-05-31 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN103286676A | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王哲;文靜;張彬;張傳民;張旭升 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/34 | 分類號(hào)： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 201210 上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 整理 | ||
1.一種研磨液整理器，其特征在于，包括整理器機(jī)械臂和研磨液機(jī)械臂，所述整理器機(jī)械臂和所述研磨液機(jī)械臂均具有非水平臂面，以確保所述整理器機(jī)械臂和所述研磨液機(jī)械臂無(wú)殘留的純水，所述研磨液機(jī)械臂用于在噴灑研磨液的過(guò)程中通過(guò)自身擺動(dòng)對(duì)硅片進(jìn)行研磨處理，所述整理器機(jī)械臂用于對(duì)硅片進(jìn)行研磨后的平整化處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液整理器，其特征在于，所述整理器機(jī)械臂和所述研磨液機(jī)械臂的非水平臂面選自傾斜、圓弧或尖角形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液整理器，其特征在于，所述整理器機(jī)械臂和研磨液機(jī)械臂的橫截面為圓形或菱形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液整理器，其特征在于，所述整理器機(jī)械臂和所述研磨液機(jī)械臂的非水平壁面上設(shè)置有引流渠，用于導(dǎo)流殘留的純水。
5.一種研磨液機(jī)械臂，其特征在于，所述研磨液機(jī)械臂具有非水平臂面，以確保所述研磨液機(jī)械臂無(wú)殘留的純水，所述研磨液機(jī)械臂用于在噴灑研磨液的過(guò)程中通過(guò)自身擺動(dòng)對(duì)硅片進(jìn)行研磨處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨液機(jī)械臂，其特征在于，所述研磨液機(jī)械臂的非水平臂面選自傾斜、圓弧或尖角形。
7.一種整理器機(jī)械臂，其特征在于，所述整理器機(jī)械臂具有非水平臂面，以確保所述整理器機(jī)械臂上無(wú)殘留的純水，所述整理器機(jī)械臂用于對(duì)硅片進(jìn)行研磨后的平整化處理。
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