[發明專利]測量AR減反膜厚度和折射率的裝置

在審

• 申請號: 201310210421.2
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN104215187A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 朱崢嶸;埃德加·吉尼奧;趙連芳
• 申請（專利權）人: 昆山勝澤光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/41
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 郭俊玲

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技術領域

本發明涉及一種光學測量裝置，特別涉及一種測量AR減反膜厚度和折射率的裝置。

背景技術

AR減反膜通常鍍在超白壓延玻璃的光面，可以有效的提高光伏玻璃的透過率。目前測量AR減反膜的主要方法是使用橢偏儀。橢偏儀精度較高，但是結構復雜，價格較昂貴，而且測量速度慢，不能用于在線測量。

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發明內容

為了克服上述缺陷，本發明提供了一種結構簡單，測量速度快，測量準確測量AR減反膜厚度和折射率的裝置。

本發明為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種測量AR減反膜厚度和折射率的裝置，包括至少兩個光源和一個計算裝置，以及對應每個光源的光學系統、光線接收器和光譜分析裝置，所述每個光源的光線通過對應的光學系統以大于0度且小于90度的傾斜角照射至AR減反膜膜面同一側的同一點，且反射后的光線被對應的光線接收器接收，所述每個光線接收器通過光纖或光路連接對應的光譜分析裝置，且每個光譜分析裝置均通過數據線連接計算裝置。

作為本發明的進一步改進，所述每個光學系統與對應的每個光線接收器位于同一平面，并且它們與AR減反膜垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合。

作為本發明的進一步改進，所述光源為寬光譜的光源，且光源通過光學系統后的光線為偏振光或者非偏振光。

作為本發明的進一步改進，所述光學系統為一種或多種光學元件組成的透射式光學系統、反射式光學系統或光纖。

本發明的有益效果是：本發明的AR減反膜測量裝置具有結構簡單，測量速度快，測量準確的特點，與橢偏儀相比，本裝置無活動部件，所以運行的可靠性很高，同時信號采集速度也很高，所以可以用于在線測量。

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附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖中標示：1-光源；2-計算裝置；3-光學系統；4-光線接收器；5-光譜分析裝置；6-AR減反膜。

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具體實施方式

為了加深對本發明的理解，下面將結合實施例和附圖對本發明作進一步詳述，該實施例僅用于解釋本發明，并不構成對本發明保護范圍的限定。

圖1示出了本發明一種測量AR減反膜厚度和折射率的裝置的一種實施方式，以兩個光源和一個計算裝置為例，以及對應的兩個光學系統3、兩個光線接收器4和兩個光譜分析裝置5，光譜分析裝置5可以是光譜儀，但不限于光譜儀，可以是其它種類的光譜分析儀器，所述每個光源1的光線通過對應的光學系統2以大于0度且小于90度的傾斜角照射至AR減反膜6膜面的同一點，且反射后的光線被對應的光線接收器4接收，所述每個光線接收器4通過光纖或光路連接對應的光譜分析裝置5，且每個光譜分析裝置5均通過數據線最終連接計算裝置2，數據線可以為各種數據線，端口也可以為各種端口；所述每個光學系統3與對應的每個光線接收器4位于同一平面，并且它們與AR減反膜6垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合，所述光源1為寬光譜的光源，且光源1通過光學系統后的光線為非偏振光，所述光學系統3為多種光學元件組成的透射式光學系統。

如圖1所示，兩個光源（或兩個以上光源）1所打出的寬光譜斜入射光打到AR減反膜6膜面的同一點，光線接收器4得到反射光并通過光纖或其他光學系統導入光譜分析裝置5中，光譜分析裝置5把各波段的光譜信號通過數據線傳到計算裝置2里面，計算裝置2可以由光譜信號計算出ＡＲ減反膜6的膜面在兩個（或兩個以上，不包括零度）角度的相對于波長的反射率曲線。

計算裝置2再通過預先儲存的程序，對兩個反射率曲線進行分析，計算出在膜厚為a,?折射率為某個波長的函數或某個常數時，膜面的反射率曲線和測量的反射率曲線最接近，從而膜的厚度和折射率被同時測得，在對測量數據進行分析時，不限定優化算法。

該裝置主要用于ＡＲ減反膜的膜厚以及折射率測定，也可用于測量其他的膜的厚度或折射率。