[發(fā)明專利]測量AR減反膜厚度和折射率的裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310210421.2 | 申請日： | 2013-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN104215187A | 公開（公告）日： | 2014-12-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 朱崢嶸;埃德加·吉尼奧;趙連芳 | 申請（專利權）人： | 昆山勝澤光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/41 |
| 代理公司： | 南京正聯(lián)知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 郭俊玲 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測量 ar 減反膜 厚度 折射率 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種測量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：包括至少兩個光源(1)和一個計算裝置(2)，以及對應每個光源(1)的光學系統(tǒng)(3)、光線接收器(4)和光譜分析裝置(5)，所述每個光源(1)的光線通過對應的光學系統(tǒng)(2)以大于0度且小于90度的傾斜角照射至AR減反膜(6)膜面同一側的同一點，且反射后的光線被對應的光線接收器(4)接收，所述每個光線接收器(4)通過光纖或光路連接對應的光譜分析裝置(5)，且每個光譜分析裝置(5)均通過數(shù)據(jù)線最終連接計算裝置(2)。
2.根據(jù)權利要求1所述的測量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述每個光學系統(tǒng)(3)與對應的每個光線接收器(4)位于膜面同一側的同一平面，并且它們與AR減反膜(6)垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合。
3.根據(jù)權利要求1所述的測量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光源(1)為寬光譜的光源，且光源(1)通過光學系統(tǒng)后的光線為偏振光或者非偏振光。
4.根據(jù)權利要求1所述的測量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光學系統(tǒng)(3)為一種或多種光學元件組成的透射式光學系統(tǒng)、反射式光學系統(tǒng)或光纖。
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