[發明專利]一種P型背鈍化太陽能電池及其制作方法

無效

• 申請號: 201310208310.8
• 申請日: 2013-05-29
• 公開（公告）號: CN103325885A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 楊學良;楊德成;徐卓;趙文超;李高非;胡志巖;熊景峰
• 申請（專利權）人: 英利集團有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0216
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種P型背鈍化太陽能電池的制作方法，其特征在于，包括：

在電池本體上形成正面減反層和背面鈍化層，其中，采用掩膜工藝形成具有預設鏤空圖案的背面鈍化層，所述正面減反層位于所述電池本體的上表面，所述背面鈍化層位于所述電池本體的下表面；

形成正面電極和背面電極；

對正面電極和背面電極進燒結。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述在電池本體上形成正面減反層和背面鈍化層包括：

采用掩膜工藝，在所述電池本體的下表面形成具有預設鏤空圖案的第一鈍化層；

在所述電池本體的上表面形成正面減反層；

采用掩膜工藝，在所述第一鈍化層表面形成與所述第一鈍化層圖案相同的第二鈍化層；

其中，所述第一鈍化層與第二鈍化層構成所述背面鈍化層。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一鈍化層為三氧化二鋁層。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述正面減反層以及第二鈍化層為氮化硅層。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述背面鈍化層的鏤空部分為多條平行、等間隔分布的溝槽。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述背面鈍化層的鏤空部分包括：多個平行分布的第一溝槽以及多個平行分布的第二溝槽；

其中，所述第一溝槽與第二溝槽垂直，所述第一溝槽之間等間距分布，所述第二溝槽之間等間距分布。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述背面鈍化層的鏤空部分為多個均勻分布的圓形凹槽。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述背面鈍化層的鏤空部分為多個均勻分布的矩形凹槽。

9.根據權利要求1-8任一項所述的方法，其特征在于，所述背面鈍化層鏤空部分所占面積百分比范圍為2%-9%，包括端點值。

10.一種P型背鈍化太陽能電池，其特征在于，包括：

電池本體；

位于所述電池本體上表面的正面電極結構，位于所述電池本體下表面的背面電極結構；

其中，所述正面電極結構包括：正面減反層以及正面柵線；所述背面電極結構包括：背面鈍化層以及背面電極層；所述背面鈍化層采用掩膜工藝制備的具有預設鏤空圖案的鈍化層；所述背面電極層通過所述背面鈍化層的鏤空部分與所述電池本體的背面接觸。