[發(fā)明專利]半導(dǎo)體處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310207781.7
• 申請(qǐng)日: 2013-05-29
• 公開（公告）號(hào): CN103295938B
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巴文林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，包括：

待降溫組件；

冷卻液管道，利用所述冷卻液管道中的冷卻液將待降溫組件降溫；

冷卻液供應(yīng)單元，所述冷卻液供應(yīng)單元通過導(dǎo)管和導(dǎo)管接口與冷卻液管道相連接，利用所述冷卻液供應(yīng)單元將冷卻液循環(huán)通入到冷卻液管道；

漏液感應(yīng)單元，所述漏液感應(yīng)單元與導(dǎo)管、導(dǎo)管接口相接觸，用于檢測(cè)導(dǎo)管、導(dǎo)管接口處是否發(fā)生漏液；

漏液檢測(cè)單元，所述漏液檢測(cè)單元與所述漏液感應(yīng)單元、冷卻液供應(yīng)單元分別連接，當(dāng)漏液感應(yīng)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，通過漏液檢測(cè)單元使得冷卻液供應(yīng)單元停止供液；

所述漏液感應(yīng)單元為漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，通過檢測(cè)所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的電阻變化來判斷是否發(fā)生漏液；

所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線包括至少兩條導(dǎo)線和位于兩條導(dǎo)線之間的具有吸水性的絕緣材料，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，使得漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線內(nèi)的導(dǎo)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，所述漏液檢測(cè)單元在所述導(dǎo)線的一端施加檢測(cè)電壓，當(dāng)導(dǎo)管或?qū)Ч芙涌诎l(fā)生漏液，對(duì)應(yīng)位置的漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的絕緣材料因?yàn)槲哂袑?dǎo)電性，從而使得兩條導(dǎo)線之間的電阻降低；

所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線纏繞在所述導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的外表面；

或者，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線利用固定組件固定在所述導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的外表面。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述具有吸水性的絕緣材料為聚乙烯、尼龍或聚偏氟乙烯。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)線的材料為金屬或?qū)щ娋酆衔铩?/p>

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，還包括：報(bào)警單元，當(dāng)漏液檢測(cè)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，所述報(bào)警單元發(fā)出警報(bào)。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，還包括：控制單元，所述控制單元與漏液檢測(cè)單元相連接，當(dāng)漏液檢測(cè)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，漏液檢測(cè)單元將控制信號(hào)發(fā)送給控制單元，控制單元停止半導(dǎo)體處理設(shè)備的運(yùn)行。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體處理設(shè)備為半導(dǎo)體沉積設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備或等離子體注入設(shè)備。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述冷卻液管道位于所述待降溫組件內(nèi)或與所述待降溫組件相接觸。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述待降溫組件為反應(yīng)腔側(cè)壁、反應(yīng)腔頂蓋、承片臺(tái)、輻射器或磁控管。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其特征在于，所述冷卻液為制程冷卻水。