[發(fā)明專利]振動片、電子裝置、電子設備以及振動片的制造方法

在審

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• 申請日: 2013-05-29
• 公開（公告）號: CN103457570A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設計）人: 山口啓一;川內(nèi)修
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/215
• 分類號: H03H9/215;H03H3/02
• 代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

技術領域

本發(fā)明尤其涉及一種在振動臂上具備槽部的振動片、電子裝置、電子設備以及振動片的制造方法。

背景技術

成為振動片的一個示例的音叉型壓電振動片具有基部、和以從基部突出的方式而形成的兩根振動臂。在振動臂上形成有槽部，該槽部被設置在振動臂的表面和背面上。因此，振動臂的截面形狀被形成為大致H型。這種音叉型壓電振動片能夠獲得提高電場效率、振動臂的振動損失較低并且CI值也被抑制得較低的優(yōu)異的振動性能，并且，能夠使振動片的整體形狀小型化。

目前，作為這種振動片的一個示例，可列舉出專利文獻1至3。

在專利文獻1所公開的振動片的制造方法中，首先，在水晶晶片的表面和背面上形成金屬掩膜，并在該金屬掩膜上形成光刻膜，且對光刻膜進行圖案形成。然后，按照光刻膜的圖案而對金屬掩膜進行圖案形成。該圖案是按照振動片的外形輪廓而設計的。接下來，在金屬掩膜圖案上對光刻膜進行成膜，然后對光刻膜進行圖案形成。該光刻膜的圖案是按照振動片的槽的圖案而設計的。接下來，按照金屬掩膜的圖案而對水晶晶片進行蝕刻，從而形成振動片的外形輪廓。然后，按照槽圖案而對金屬掩膜進行圖案形成，并通過蝕刻而在振動片上形成槽。

但是，根據(jù)專利文獻1的制造方法，由于通過不同的工序來實施形成振動片的外形的工序和形成槽部的工序，因此對于外形輪廓和槽部而言，必須進行兩個階段的光刻膜的成膜。雖然當在后階段工序的金屬掩膜上對光刻膜進行成膜時，按照金屬掩膜的槽圖案而進行圖案形成，但存在難以高精度地使槽與已被形成的外形輪廓位置對齊的問題。如果槽的位置未按照設計而形成，則振動臂的平衡較差，從而振動變得不穩(wěn)定。因此，頻率的穩(wěn)定性將變得較差、或者振動片的共振頻率將與設計值產(chǎn)生偏差。

因此，在專利文獻2所公開的振動片中，在同時對振動片的外形和槽部進行了圖案形成之后，同時進行外形蝕刻和槽的蝕刻，從而減少了制造工序。并且，將槽的槽寬設定為不會超過如下大小，即，由于在進行蝕刻時水晶的各向異性而被形成在振動臂上的異形形狀的突出量的大小。

另外，專利文獻3中所公開的振動片與專利文獻2相同地，在同時對振動片的外形和槽部進行了圖案形成之后，同時進行外形蝕刻和槽的蝕刻，從而減少了制造工序。而且，振動臂的槽部以如下狀態(tài)被形成，即，在振動臂的寬度方向上被分開且在長度方向上較為細長的小槽，沿著各個振動臂的長度方向而并排有多個的狀態(tài)。

在形成振動片的外形以及槽部時，根據(jù)振動片的種類，蝕刻有時會持續(xù)較長時間。圖8為現(xiàn)有的振動片的槽部蝕刻的說明圖。如圖示這樣，在振動臂1采用于長度方向上較為細長的形狀的槽部2的結(jié)構的情況下，如果蝕刻進行較短時間，則如圖中虛線A所示，蝕刻沿著在長度方向上較為細長的槽部2的外形圖案而進行。與此相對，當蝕刻成為較長時間時，如圖中單點劃線B所示，由于水晶的各向異性，在長度方向上較為細長的槽部2的任一方側(cè)壁3a與另一方側(cè)壁3b相比，蝕刻進行得較多。生成的槽部2a成為如下形狀，即，關于振動臂1的中心而非對稱，從振動臂1的側(cè)面到槽部的側(cè)壁的長度a、b不同的不均勻的形狀。由此，存在振動臂1的平衡較差，從而振動變得不穩(wěn)定的問題。

專利文獻1：日本特開2002－76806號公報

專利文獻2：日本特開2004－200915號公報

專利文獻3：日本特許第4636170號公報

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術的問題點，其目的在于，能夠提供一種可在制造振動片時，同時進外形蝕刻和槽部的蝕刻，從而簡化制造工序，并且提高槽部與外形的相對位置精度的振動片、電子裝置、電子設備以及振動片的制造方法。

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，且能夠作為以下的方式或應用例而實現(xiàn)。

應用例1

本應用例所涉及的振動片的特征在于，具備：基部、和從所述基部突出且具有槽部的振動臂，所述槽部被形成為，在所述振動臂的寬度方向上的長度長于在所述振動臂的長度方向上的長度，并且沿著所述振動臂的長度方向而排列配置有多個。

根據(jù)上述結(jié)構，由于能夠?qū)⒄駝颖鄣牟鄄啃纬蔀椋乖谡駝颖鄣膶挾确较蛏系拈L度長于長度方向上的長度的細長形狀，從而即使進行較長時間的蝕刻工序，也不會由于因水晶的各向異性而產(chǎn)生的XY方向上的鰭狀的異形形狀而使槽部被加工至貫穿，因此能夠提高振動臂的外形與槽部的相對位置精度。因此，能夠獲得振動特性較為優(yōu)異的振動片。

應用例2

在上述應用例所涉及的振動片中，可以使其特征在于，在俯視觀察所述振動臂時，所述槽部為多邊形形狀。