[發(fā)明專利]振動(dòng)片、電子裝置、電子設(shè)備以及振動(dòng)片的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310206769.4
• 申請(qǐng)日: 2013-05-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103457570A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山口啓一;川內(nèi)修
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H9/215
• 分類號(hào): H03H9/215;H03H3/02
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種振動(dòng)片，其特征在于，

具備：基部、和從所述基部突出且具有槽部的振動(dòng)臂，

所述槽部被形成為，在所述振動(dòng)臂的寬度方向上的長(zhǎng)度長(zhǎng)于在所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度，并且沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向而排列配置有多個(gè)。

2.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于，

在俯視觀察所述振動(dòng)臂時(shí)，所述槽部為多邊形形狀。

3.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于，

在俯視觀察所述振動(dòng)臂時(shí)，所述槽部的角部包含曲線形狀。

4.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于，

所述基部以及所述振動(dòng)臂由壓電單晶體構(gòu)成。

5.如權(quán)利要求2所述的振動(dòng)片，其特征在于，

所述基部以及所述振動(dòng)臂由壓電單晶體構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求3所述的振動(dòng)片，其特征在于，

所述基部以及所述振動(dòng)臂由壓電單晶體構(gòu)成。

7.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于，

所述槽部被形成于所述振動(dòng)臂的一側(cè)主面以及另一側(cè)主面上。

8.一種電子裝置，其特征在于，

具備權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)片。

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，

具備權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)片。

10.一種振動(dòng)片的制造方法，其特征在于，

所述振動(dòng)片具備：基部、和以從所述基部突出的方式而形成的振動(dòng)臂，并且在所述振動(dòng)臂上形成有槽部，

所述振動(dòng)片的制造方法包括：

相對(duì)于被形成在基板上的金屬膜上的光刻膜，而同時(shí)形成所述振動(dòng)片的外形圖案和與所述槽部相當(dāng)?shù)膱D案的工序，所述槽部被形成為，在所述振動(dòng)臂的寬度方向上的長(zhǎng)度長(zhǎng)于在所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度，并且沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向而排列有多個(gè)；

除去與所述振動(dòng)片的外形相對(duì)應(yīng)的區(qū)域和所述槽部的、所述光刻膜以及所述金屬膜的工序；

對(duì)所述基板進(jìn)行蝕刻而同時(shí)形成所述振動(dòng)片的外形與所述槽部的工序。