[發明專利]分子泵抽速測試儀

有效

• 申請號: 201310201790.5
• 申請日: 2013-05-27
• 公開（公告）號: CN104179706B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 郭帥;周旭;苗建朋;池華敬;孟秀清;陳革;章其初
• 申請（專利權）人: 山東億家能太陽能有限公司
• 主分類號: F04D27/00
• 分類號: F04D27/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

技術領域

本發明涉及真空技術領域，尤其涉及一種分子泵抽速測試儀。

背景技術

分子泵作為一種真空獲得設備在真空行業廣泛被使用，分子泵抽速是衡量分子泵性能好壞的重要指標之一。分子泵在裝有標準測試罩并按規定條件工作時，從測試罩流過的氣體流量與測試罩上指定位置測得的平衡壓力之比，簡稱為泵的抽速。

當前，分子泵抽速按照國標GB7774—87《渦輪分子泵性能測試方法》進行測試。采用定壓法，當分子泵泵口處的氣壓平衡后，記錄充入泵內的氣體流量值，計算得到分子泵的抽速。該國標規定充入泵內的氣體流量按照國標GB6307.1—86《蒸汽流真空泵抽氣速率體積流率測試方法》進行測量。也就是，采用滴管式流量測量裝置，測量油柱上升的高度和時間，間接表述流量值。然而，采用該方法測量抽速時，由于在不同氣壓測量點，需更換不同規格的滴管，操作繁瑣，耗時長；在測量低氣壓時，所需滴管容量小，油柱上升的高度和時間測量誤差大，因而導致抽速測量誤差大；且滴管法抽速測量對測量環境要求比較苛刻，國標規定環境溫度需控制在15～25±1℃范圍內；另外，測量的抽速數據，會受測量環境的氣壓影響。從而，當前分子泵抽速測量儀的測試精度低、操作復雜、測試效率低，且無法實現自動連續測量，也不具備數據自動采集和處理功能。

因此，需要發明一種新型的分子泵抽速測試儀。

發明內容

本發明的主要目的在于，提供一種測試精度高、操作簡便、測試效率高的分子泵抽速自動測試儀。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種分子泵抽速測試儀，包括測試罩和控制器，在所述測試罩上連接有氣瓶，所述氣瓶向所述測試罩內提供測試氣體，在所述氣瓶和測試罩之間設有流量控制單元，用于控制并檢測由所述氣瓶流向所述測試罩內的測試氣體的流量，所述流量控制單元由所述控制器控制，在測試罩上還連接有真空計，所述真空計用于監測所述測試罩內的壓力數據，所述真空計監測的壓力和所述流量控制單元監測的流量分別傳輸給所述控制器，所述控制器根據所述壓力數據和流量數據計算出抽速。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述控制器包括：采集模塊、調節模塊和輸出模塊，所述采集模塊，用于采集所述流量和壓力數據；所述調節模塊，用于根據壓力數據對所述流量控制單元的流量進行調節；所述輸出模塊，用于向所述流量控制單元發出控制信號，并計算出抽速數據。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述流量控制單元包括至少一條流量控制管線，所述流量控制管線包括串聯的流量控制器和截止閥。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述流量控制單元還包括與流量控制管線并聯的充氣管線。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述流量控制管線設為兩條以上。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中還包括機械泵，所述機械泵經管路與待測分子泵連接，在所述管道上設有前級閥。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述控制器還包括可編程邏輯控制器，用于對流量控制管線進行控制。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述真空計為高精度復合真空計，測量范圍1×10^-8～1.5×10⁵Pa。

優選的，前述的分子泵抽速測試儀，其中所述測試罩的底部通過法蘭與待測分子泵的法蘭連接。

借由上述技術方案，本發明分子泵抽速測試儀至少具有下列優點：

1、本發明的優選的實施方式，具有測試精度高、重復性好、操作簡便等優點；使測試效率大大提高。

2、本發明的優選的實施方式，對不同數量級的壓力預設值進行抽速監測時，操作簡單、測量結果更加準確。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

附圖說明

圖1是本發明的分子泵抽速測試儀第一實施例的結構示意圖；

圖2是本發明的分子泵抽速測試儀第二實施例的結構示意圖；

圖3是圖2中流量控制單元的放大圖。

具體實施方式