[發(fā)明專利]分子泵抽速測試儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310201790.5
• 申請日: 2013-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN104179706B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭帥;周旭;苗建朋;池華敬;孟秀清;陳革;章其初
• 申請（專利權(quán)）人: 山東億家能太陽能有限公司
• 主分類號(hào): F04D27/00
• 分類號(hào): F04D27/00
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種分子泵抽速測試儀，包括測試罩和控制器，其特征在于，

在所述測試罩上連接有氣瓶，所述氣瓶向所述測試罩內(nèi)提供測試氣體，

在所述氣瓶和測試罩之間設(shè)有流量控制單元，用于控制并檢測由所述氣瓶流向所述測試罩內(nèi)的測試氣體的流量，所述流量控制單元由所述控制器控制，

在測試罩上還連接有真空計(jì)，所述真空計(jì)用于監(jiān)測所述測試罩內(nèi)的壓力數(shù)據(jù)，

所述真空計(jì)監(jiān)測的壓力和所述流量控制單元監(jiān)測的流量分別傳輸給所述控制器，所述控制器根據(jù)所述壓力數(shù)據(jù)和流量數(shù)據(jù)計(jì)算出抽速。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述控制器包括：采集模塊、調(diào)節(jié)模塊和輸出模塊，

所述采集模塊，用于采集所述流量和壓力數(shù)據(jù)；

所述調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)壓力數(shù)據(jù)對所述流量控制單元的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)；

所述輸出模塊，用于向所述流量控制單元發(fā)出控制信號(hào)，并計(jì)算出抽速數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述流量控制單元包括至少一條流量控制管線，所述流量控制管線包括串聯(lián)的流量控制器和截止閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述流量控制單元還包括與流量控制管線并聯(lián)的充氣管線。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述流量控制管線設(shè)為兩條以上。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

還包括機(jī)械泵，所述機(jī)械泵經(jīng)管路與待測分子泵連接，在所述管道上設(shè)有前級(jí)閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述控制器還包括可編程邏輯控制器，用于對流量控制管線進(jìn)行控制。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述真空計(jì)為高精度復(fù)合真空計(jì)，測量范圍1×10^-8～1.5×10⁵Pa。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的分子泵抽速測試儀，其特征在于，

所述測試罩的底部通過法蘭與待測分子泵的法蘭連接。