[發明專利]探針卡的檢測方法有效
| 申請號： | 201310199768.1 | 申請日： | 2013-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN103293503B | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發明（設計）人： | 唐莉 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 張亞利,駱蘇華 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 檢測 方法 | ||
1.一種探針卡的檢測方法，其特征在于，包括：
提供晶圓，在所述晶圓上分布多個導電區，至少兩個導電區電連接且任意一個導電區只與一個導電區電連接；
將所述探針卡上的探針與晶圓上的導電區對位；
測得與電連接的兩個導電區對位的兩個探針之間的接觸電阻；
若所述接觸電阻位于預期電阻范圍內，則判定對應所述接觸電阻的兩個探針合格；
若所述接觸電阻超出預期電阻范圍，則判定對應所述接觸電阻的兩個探針不合格。
2.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，還包括：在未電連接的兩個導電區的兩側，且靠近所述兩個未電連接的導電區處設置兩條平行導線；
在將所述探針卡上的探針與晶圓上的導電區對位后，測得與所述兩個未電連接的導電區對位的兩個探針之間的檢測電流；
若所述檢測電流位于預期電流范圍內，則判定對應所述檢測電流的兩個探針能夠與對應所述檢測電流的兩個導電區形成一對一對準；
若所述檢測電流超出預期電流范圍，則判定對應所述檢測電流的兩個探針無法與對應所述檢測電流的兩個導電區形成一對一對準。
3.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述導電區的數量大于等于所述探針卡上探針的數量。
4.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所有相鄰的兩個導電區電連接，且任意一個導電區僅與其中一個相鄰的導電區電連接。
5.如權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，還包括：在所有相鄰兩個未電連接的導電區兩側，且靠近所述相鄰兩個未電連接的導電區處設置兩條平行導線。
6.如權利要求1或4所述的檢測方法，其特征在于，測得與電連接的兩個導電區對位的兩個探針之間的接觸電阻的方法，包括：
在與電連接的兩個導電區對位的兩個探針之間施加電壓；
測試所述兩個探針之間通過的電流；
所述電壓與電流的比值為接觸電阻。
7.如權利要求2或5所述的檢測方法，其特征在于，所述測得與兩個未電連接的導電區對位的兩個探針之間的檢測電流的方法，包括：
在與所述兩個未電連接的導電區對位的兩個探針之間施加電壓；
測試所述兩個探針之間的檢測電流。
8.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，對每個探針測試兩次以上，對應每個探針得到多個接觸電阻。
9.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述導電區包括芯片、位于芯片上的焊墊。
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